MEMS
Publish place: 9th Iranian Student Conference on Electrical Engineering
Publish Year: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: English
View: 3,573
This Paper With 14 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISCEE09_097
تاریخ نمایه سازی: 13 اسفند 1386
Abstract:
با پیشرفت تکنولوژی امروزه نیازمند داشتن لوازم دقیق تر در صنعت و پزشکی و کشاورزی و سایر علوم هستیم. NEMS و MEMS این امکان را برای تحول در زندگی انسان فراهم ساخته است از این رو در اینجا سعی بر این است تا بعد از آشنایی کلی با این تکنولوژی نو زمینه هاو کاربردهای آن , نحوه طراحی و اصول ساخت و گونه های تلفیقی آن با سایر علوم مورد بررسی قرار گیرد.در پایان با نحوه طراحی مدارهای مجتمعCMOS " MEMS که جدید ترین شاخه " MEMS است آشنا می شویم.
Keywords:
Authors
لیلا محمدیان
دانشگاه تبریز - دانشکده برق و کامپیوتر
شهلا شوقیان
دانشگاه تبریز - دانشکده برق و کامپیوتر