نقش مقاومتهای پلیمری در میکرو لیوگرافی

دنیا در سالهای اخیر شاهد جهش بزرگی در زمینه علوم و تکنولوژی به ویژه در صنعت الکترونیک بوده است. پیشرفت عمده ای که در این صنعت از پیدایش ترانزیستور آغاز شد، با پیدایش مدارهای مجتمع (IC) سرعت گرفت. در ساخت مدارهای مجتمع، مواد نقش عمده ای دارند. در میان مواد اولیه متفاوتی که در این صنعت مصرف می شوند، پلیمرها جایگاه ویژه ای پیدا کرده اند. پلیمرها در بخشهای مختلف صنعت الکترونیک مورد استفاده قرار می گیرند و هر روز سهم آنها فزونی می گیرد. میکرولیتوگرافی یکی از بخشهای عمده ای است که پلیمرها در آن نقش مهمی را برعهده دارند. در میکرولیتوگرافی الگوی مدار چاپی توسط دشتگاه های پرتودهی مدرن روی پایه IC نقش می بندد. هر چه پلیمرهای حساستری به کار برده شود، می توان با تکنیک پیشرفته تری اندازه الگوی مدار را روی پایه کوچکتر کرد و حجم IC را تا حد امکان کاهش داد. در این مقاله ضمن معرفی تکنولوژی میکرولیتوگرافی، جایگاه مقاومتهای پلیمری در پیشرفت آن و انتخاب نوع تکنولوژی بررسی می شود.

Keywords:

میکرولیتوگرافی , مقاوم پلیمری , وضوح , حساسیت , تمایز جلوه