Synthesis and Characterization of p+ Porous Silicon Layers for Optical Waveguide Applications
Publish place: 03rd Iranian Conference on Photonics Engineering
Publish Year: 1389
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: English
View: 1,421
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
PHOTONICS03_044
تاریخ نمایه سازی: 30 آبان 1389
Abstract:
Using porous silicon is an attractive preposition for making optical waveguides because of its porosity controllability which leads to tuneable refractive indices. In this study, we prepared a series of p+ porous silicon samples electrochemically at different conditions. Then we investigated the effect of fabrication parameters on the morphology and structural features of fabricated PS layers by FESEM and AFM analysis. The observed relationships among the fabrication parameters, geometry and morphology were discussed, and a simplified model is suggested.
Keywords: