Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
CIVILICAWe Respect the Science
Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings
عنوان
Paper

Design and modeling a resonance humidity sensor

تعداد صفحات: 4 | تعداد نمایش خلاصه: 28 | نظرات: 0
سال انتشار: 1399
کد COI Paper: ISME28_299
زبان Paper: Englishglish
نسخه کامل Paper در کنفرانس ارائه نشده است و در دسترس نیست.

مشخصات نویسندگان Paper Design and modeling a resonance humidity sensor

Mahdi Movahedi Najafabadi - Master of Science, Amirkabir University of Technology, Tehran;
Mohsen Bahrami - Profossor, Amirkabir University of Technology, Tehran;
Ali Ghanbari - Assistant Professor, Tafresh University, Tafresh;

چکیده Paper:

Microelectromechanical systems (MEMS) technology has enabled the realization of microsensors with the advantages of low power consumption, compact size, batch fabrication, and increased reliability. Humidity microsensors, which are fabricated using MEMS technology, have a wide range of applications in the industry and consumer products. In this paper, we investigate a humidity resonance microsensor with an activated alumina layer as a humidity absorber layer. The microsensor consists of a piezoelectric microcantilever, which is modeled using the Euler-Bernoulli beam theory to study the humidity absorption of the alumina layer based on the experimental results and the performance of the microsensor. The results show a humidity coverage of 0 to 70% with 370 (Hz/%RH) sensitivity. The first-mode resonant frequency of the microcantilever varies from 285 kHz to 249 kHz and the second-mode resonant frequency of the microcantilever varies from 1800 kHz to 1550 kHz. Also, the maximum deflection of the microcantilever increase to 400 nm in 70% relative humidity.

کلیدواژه ها:

Piezoelectric Microcantilever, Humidity Microsensor, Activated alumina

کد Paper/لینک ثابت به این Paper

برای لینک دهی به این Paper می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت Paper در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:

https://civilica.com/doc/1029311/

کد COI Paper: ISME28_299

نحوه استناد به Paper:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این Paper ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
undefined, undefined و undefined, undefined و undefined, undefined,1399,Design and modeling a resonance humidity sensor,بیست و هشتمین کنفرانس سالانه بین المللی انجمن مهندسان مکانیک ایران,Tehran,,,https://civilica.com/doc/1029311

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این Paper اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1399, Movahedi Najafabadi, Mahdi؛ Mohsen Bahrami و Ali Ghanbari)
برای بار دوم به بعد: (1399, Movahedi Najafabadi؛ Bahrami و Ghanbari)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

Research Info Management

Certificate | Report Paper

Export Citation info of this Paper to research management softwares

علم سنجی و رتبه بندی Paper

مشخصات مرکز تولید کننده این Paper به صورت زیر است:
نوع مرکز: state university
تعداد مقالات: 19,748
در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

New RelatedPapers

Share this paper

WHAT IS COI?

COI is a national code dedicated to all Iranian Conference and Journal Papers. the COI of each paper can be verified online.

Support