آرش ثباتیان - دانشگاه ارومیه ،دانشکده علوم پایه ،گروه فیزیک
علیرضا همت - دانشگاه ارومیه ،دانشکده علوم پایه ،گروه فیزیک
یورگن یانس - دانشگاه فرن هاگن،آلمان

برای ساخت قطعات میکرواپتیک مقیاس خاکستری سه روش وجود دارد دراین مقاله روش جدید مدولاسیون مکان پالس ارائه شده است برخلاف روشهای مرسوم دراینجا شدت نور فرودی به روی فوتورزیست با استفاده از برهمنهی دو یا چند توری پراشی دامنه ای کنترل می شود طراحی ماسک پلیت های کرومی مقیاس خاکستری با این روش تست اپتیکی الگوهای بزرگتر از الگوهای اصلی قبل از انتقال نهایی به روی ماسک با استفاده از یک چیدمان اپتیکی و درنهایت ساخت قطعه مورد نظر دراینجا گوه است روی فوتورزیست با استفاده از تکنیک فوتولیتوگرافی شرح داده شده است.

پراش، فوتولیتوگرافی، ماسک پلیت مقیاس خاکستری، میکرواپتیک