CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

اندازه گیری ضخامت چند لایه های اپتیکی نازک به کمک چیدمان میکروسکوپ هم کانونی نور سفید

عنوان مقاله: اندازه گیری ضخامت چند لایه های اپتیکی نازک به کمک چیدمان میکروسکوپ هم کانونی نور سفید
شناسه ملی مقاله: PHOTONICS03_086
منتشر شده در سومین کنفرانس مهندسی فوتونیک ایران در سال 1389
مشخصات نویسندگان مقاله:

ابراهیم بحرودی - تهران،اوین,دانشگاه شهید بهشتی ،پژوهشکده لیزر و پلاسما
علی موسویان - تهران،اوین,دانشگاه شهید بهشتی ،پژوهشکده لیزر و پلاسما
حمید لطیفی - تهران،اوین,دانشگاه شهید بهشتی ،پژوهشکده لیزر و پلاسما

خلاصه مقاله:
میکروسکوپ هم کانونی نورسفید در زیرشاخه میکروسکوپ های اپتیکی و غیرمخرب قرار میگیرد از این میکروسکوپ می توان در تجسم نگاری سهبعدی از سطوح استفاده کرد دراین مقاله به کاربرد این میکروسکوپ در اندازه گیری ضخامت لایه های نازک اپتیکی اشاره کرد بدین صورت که ابتداچیدمان میکروسکوپ را توسط نرم افزار طراحی اپتیکی Zemax شبیه سازی کرده و سپس چیدمان ازمایشگاهی آن تشکیل می شود در نهایت هم در شبیه سازی و هم در ازمایش ضخامت یک نمونه لایه اپتیکی درابعاد میکرون اندازه گرفته می شود.

کلمات کلیدی:
میکروسکوپ همکانونی نورسفید، ضخامت سنجی، شبیه سازی

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/105692/