رشد نانومیله های اکسدی روی بر روی میکروساختارهای دوار و هم مرکز سیلیکانی برای ستاخت نانوژنراتورها

خواص الکتریکی مواد پیزوالکتریک به منظور برداشت انرژی یکی از موضوعاتی است که در دهه ی اخیر مورد توجه بسیاری از محققین قرار گرفته است که در بین آن ها اکسید روی (Zno) جزء مهمترین و پرکاربردترین مواد پیزوالکتریکی محسوب می شود. در این مقاله، جهت افزایش سطح، نانومیله های اکسید روی (Zno NRs) را بر روی دوایر میکروآرایه های سیلیکانی به روش هیدروترمال که اولین مرحله از ساخت رشد نانوژنراتور مبتنی بر این ماده است، ساخته می شود. ساخت قطعه شامل 2 مرحه است. مرحله اول ایجاد میکرو دوایر سیلیکانی مبتنی بر روش های: لایه نشانی کروم، لیتوگرافی و زایش عمودی با یون های فعال (DRIE) و مرحله دوم رشد نانو میله های اکسید روی بر روی میکروآرایه های سیلیکانی به روش هیدروترمال و همچنین برای کاهش قطر نانومیله ها از 218 به 76 نانومتر فرایند رشد در حضور پلیمر PEI، بررسی شد.

Keywords:

, Zno NRs , هیدروترمال , میکروآرایه های سیلیکانی