امیر قاسمی کردلر - دانشگاه تهران، علوم و فنون نوین، آزمایشگاه ساخت ادوات پیشرفته میکرونانو
جواد کوهسرخی - دانشگاه تهران، علوم و فنون نوین، آزمایشگاه ساخت ادوات پیشرفته میکرونانو
حامد کاوند - دانشگاه تهران، علوم و فنون نوین، آزمایشگاه ساخت ادوات پیشرفته میکرونانو

امروزه در سیستم های میکروالکترومکانیک نانومیله های پیزوالکتریک به دلیل انعطاف پذیری بالا، وزن کم و اندازه کوچک، یک محدوده برداشت انرژی هیجان انگیز را از طریق ارتعاشات مکانیکی ارائه می دهند که در این بین، نانومیله های اکسید روی (ZnO NRs) یکی از پر کاربردترین مواد در ساخت دستگاه های برداشت انرژی است. در این مقاله، دو نانو ژنراتور (NG) هیبریدی مبتنی بر فیلم کامپوزیت ZnO NRs / PDMS بر روی میکرواینتردیجیت های سیلیکانی و سطح صاف ساخته شده است. در ابتدا بر روی ویفر سیلیکانی میکرودیجیت هایی به ارتفاع 20 میکرومتر که اندازه پهنا و فاصله بین آن ها 30 میکرومتر است، ایجاد شد. رشد Zno NRs شامل یک مرحله هیدروترمال در حضور پیلمر PEI، جهت کاهش قطر نانو میله ها است. ولتاژ خروجی NG ولتاژ پیک تا پیک خروجی بدست آمده در حالت سطح صاف 57.6 میلی ولت در طرح دار سیلیکانی 336 میلی ولت که منجر به افزایش 580% ولتاژ خروجی می شود.

؛ PENG ،Zno VNRs، میکروآرایه های سیلیکانی، هیدروترمال