بررسی تاثیر شکل سوراخ های جرم آزمون ژیروسکوپ موج آکوستیکی تودهای بر فرکانسی تطبیق مدهای تحریک و حسگری
Publish place: Journal of Iranian Association of Electrical and Electronics Engineers، Vol: 17، Issue: 3
Publish Year: 1399
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: Persian
View: 215
This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_JIAE-17-3_009
تاریخ نمایه سازی: 3 اسفند 1399
Abstract:
در طراحی ژیروسکوپ موج آکوستیکی تودهایBAW عموما لازم است که فرکانس تطبیق مدهای حسگری و تحریک بیشینه انتخاب گردند. چنین انتخابی فاکتورکیفیت ژیروسکوپ را بهبود میبخشد. دراین مقاله تاثیر شکل سوراخهایی را که در مرحله رهاسازی جرم آزمون ژیروسکوپBAW ایجاد میشوند بر فرکانس تطبیق مدهای حسگری و تحریک بررسی میکنیم. ژیروسکوپ از نوع حلقه بسته فرض شده است که بر بستر SOI ساخته می شود. بویژه دو وضعیت برای سوراخ های مخروطی شکل مورد مطالعه قرار گرفته است. اگر یال هر سوراخ با بستر، زاویه داخلی منفرجه بسازد، اختلاف فرکانس بین مدی کمتر و اگر زاویه داخلی حاده بسازد اختلاف فرکانس بین مدی بیشتر میشود.
Keywords:
Frequency matching , Proof mass , BAW gyroscope , Perforating. , تطبیق فرکانس , جرم آزمون , ژیروسکوپ موج آکوستیکی توده ای BAW , سوراخکاری
Authors
محمد مهدی علامه
, Department of Electrical Engineering,South Tehran Branch, Islamic Azad University
مرتضی فتحی پور
, Device ModelingandSimulation Lab., Faculty of Computer and Electrical Engineering
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :