صادق بخشی کردشولی

یکی از ساختارهایی که امروزه جهت ساخت حسگرگاز مورد استفاده قرار میگیرد ساختار خازنی فلز-عایق- فلز (MIM1) میباشد. بر همین مبنا، روشهای تولید نانوساختارهای خود نظمیافته با آرایه ی متناوب، مورد توجه قرار گرفته اند. یکی از روشها، فرایند آندایز میباشد که این فرایند منجر به تشکیل لایه اکسید متخلخل آرایه ی منظمی از نانوحفره ها می گردد. در این روش لایه زیرین فلزآلومینیوم و سطح روی آن آلومینا به عنوان عایق و سطح روی آن با استفاده از خمیرگرافیت یا چسب نقره، فلز درنظر گرفته شده است. در مرحله ای دیگر با استفاده از روش drop cast و با استفاده از پودرآلومینا به نسبت مناسب بر روی سطح آلومینیوم لایه ی عایق ایجاد میشود که به همین منظور از خاصیت خازنی آن نیز در تست گاز استفاده شده است.که خاصیت خازنی آن با استفاده از یک مدار نوسانساز اندازه گیری میشود.

حسگر- آندایز- -MIM دیالکتریک- آلومینا