بررسی میزان اثرگذاری پارامترهای مختلف بر نیرو در فاز دوم نانومنیپولیشن دوبعدی

منیپولیشن و جابه جایی میکرو/نانوذرات امروزه اهمیت بالایی در ساخت و تولید تجهیزات ریزمقیاس پیدا کرده است. فرآیند نانومنیپولیشن با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی، در دو فاز انجام می پذیرد. فاز نخست تا قبل از شروع به حرکت ذرات هدف را شامل می شود و هدف از آن استخراج نیرو و زمان بحرانی آغاز به حرکت میکرو/نانوذرات می باشد. در فاز دوم نیز حرکت ذرات از آغاز در مبدا تا رسیدن به مقصد مورد بررسی قرار می گیرد. مدل سازی، شبیه سازی و بررسی پارامترهای موثر بر این فاز از اهمیت بالایی برخوردار است. در این مقاله به بررسی اثرات هشت پارامتر شامل شعاع ذره، شعاع سوزن، ارتفاع سوزن، طول تیرک، عرض تیرک، طول ذره، ضریب پواسون و مدول الاستیسیته بر نیرو، در فاز دوم منیپولیشن پرداخته شده است. برای این منظور در این مقاله از روش آنالیز حساسیت آماری ای-فست استفاده شده است. نتایج به دست آمده بیانگر این موضوع است که ارتفاع سوزن با ۴۸ درصد، عرض تیرک با ۱۹ درصد، مدول الاستیسیته با ۱۴ درصد و طول تیرک با ۸ درصد، بیشترین اثر را بر تغییرات نیرو در فاز دوم منیپولیشن خواهند داشت. در حالی که مطابق نتایج به دست آمده، می توان از اثرات ناچیز ناشی از تغییرات شعاع ذره، شعاع سوزن، ضریب پواسون سوزن و طول استوانه ای میکرو/نانوذرات هدف چشم پوشی نمود.

Keywords:

نانومنیپولیشن دو بعدی , ای -فست , میکروسکوپ نیروی اتمی , فاز دوم