مروری بر کاربرد خازن های بین انگشتی در سنسورهای خازنی
Publish place: Electrical Asre Magazine، Vol: 8، Issue: 15
Publish Year: 1400
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: Persian
View: 244
This Paper With 9 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_KEEE-8-15_005
تاریخ نمایه سازی: 20 مرداد 1400
Abstract:
سنسور المانی است که یک کمیت فیزیکی را به سیگنال الکتریکی تبدیل می کند. سنسورهای خازنی به دلیل عملکرد خوب، داشتن، حساسیت عالی، طراحی و ساخت آسان و… بیشتر از سنسورهای دیگر مورد توجه قرار گرفته اند. با افزایش تقاضا برای یکپارچه سازی سیستم های الکترونیکی بر روی تراشه و نیاز به کوچک سازی سنسورها، سنسورهای خازنی مبتنی بر خازن بین انگشتی بسیار مورد توجه قرار گرفته اند. خازن بین انگشتی، از تعدادی زوج الکترود شانه ای بر روی بستر عایق تشکیل می شود. این خازن ها متداول ترین ساختار خازنی مورد استفاده در حوزه سیستم های میکرو الکترومکانیکی هستند که ظرفیت و حساسیت آنها در مقایسه با سایر خازن ها به نسبت بالاتر است. مزایای خازن های بین انگشتی، آن ها را به گزینه ای محبوب برای کاربرد در سنسورهای مختلف تبدیل کرده است. این مقاله به مروری بر کاربرد خازن های بین انگشتی در سنسورهای خازنی مختلف، پرداخته است.
Keywords:
Interdigital capacitor , Capacitive sensors , MEMS. , خازن های بین انگشتی , سنسورهای خازنی , سیستم های میکرو الکترومکانیکی
Authors
زینب ورع
آزمایشگاه RF MEMS و بایونانوالکترونیک بخش مهندسی برق دانشگاه شهید باهنر کرمان
مهدیه مهران
آزمایشگاه RF MEMS و بایونانوالکترونیک بخش مهندسی برق دانشگاه شهید باهنر کرمان
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :