مروری بر کاربرد خازن های بین انگشتی در سنسورهای خازنی

Publish Year: 1400
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: Persian
View: 244

This Paper With 9 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

JR_KEEE-8-15_005

تاریخ نمایه سازی: 20 مرداد 1400

Abstract:

 سنسور المانی است که یک کمیت فیزیکی را به سیگنال الکتریکی تبدیل می کند. سنسورهای خازنی به دلیل عملکرد خوب، داشتن، حساسیت عالی، طراحی و ساخت آسان و… بیشتر از سنسورهای دیگر مورد توجه قرار گرفته اند. با افزایش تقاضا برای یکپارچه سازی سیستم های الکترونیکی بر روی تراشه و نیاز به کوچک سازی سنسورها، سنسورهای خازنی مبتنی بر خازن بین انگشتی بسیار مورد توجه قرار گرفته اند. خازن بین انگشتی، از تعدادی زوج الکترود شانه ای بر روی بستر عایق تشکیل می شود. این خازن ها متداول ترین ساختار خازنی مورد استفاده در حوزه سیستم های میکرو الکترومکانیکی هستند که ظرفیت و حساسیت آنها در مقایسه با سایر خازن ها به نسبت بالاتر است. مزایای خازن های بین انگشتی، آن ها را به گزینه ای محبوب برای کاربرد در سنسورهای مختلف تبدیل کرده است. این مقاله به مروری بر کاربرد خازن های بین انگشتی در سنسورهای خازنی مختلف، پرداخته است.  

Keywords:

Interdigital capacitor , Capacitive sensors , MEMS. , خازن های بین انگشتی , سنسورهای خازنی , سیستم های میکرو الکترومکانیکی

Authors

زینب ورع

آزمایشگاه RF MEMS و بایونانوالکترونیک بخش مهندسی برق دانشگاه شهید باهنر کرمان

مهدیه مهران

آزمایشگاه RF MEMS و بایونانوالکترونیک بخش مهندسی برق دانشگاه شهید باهنر کرمان

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • [۱]N. Maluf, “An introduction to microelectromechanical systems engineering.” Measurement Science ...
  • [۲]S. M. Sze, Semiconductor sensors, vol. ۵۵. Wiley New York, ...
  • [۳]P. Hu, J. Guo, and J. Tan, “An annular planar-capacitive ...
  • [۴]G. González, E. S. Kolosovas-Machuca, E. López-Luna, H. Hernández-Arriaga, and ...
  • [۵]N. Zoric, A. Iavorschi, M. Sireteanu, G. Viziteu, and R. ...
  • [۶]N. Angkawisittpan and T. Manasri, “Determination of sugar content in ...
  • [۷]…..http://mathworld.wolfram.com/CompleteEllipticIntegraloftheFirstKind.htm ...
  • [۸]A. V Mamishev, K. Sundara-Rajan, F. Yang, Y. Du, and ...
  • زینب ورع و مهدیه مهران«مروری بر خازن های بین انگشتی ...
  • [۱۰]R. T. Sheldon and N. Bowler, “An interdigital capacitive sensor ...
  • [۱۱]Y. Liu, Y. Huang, R. Tang, and B. Wang, “Application ...
  • [۱۲]C.-L. Zhao, M. Qin, and Q.-A. Huang, “A fully packaged ...
  • [۱۳]H. Farahani, R. Wagiran, and M. Hamidon, “Humidity sensors principle, ...
  • [۱۴]P. Fürjes, A. Kovacs, C. Dücso, M. Ádám, B. Müller, ...
  • [۱۵]C. Laville, C. Pellet, and G. N’Kaoua, “Interdigitated humidity sensors ...
  • [۱۶]Y. Kim, B. Jung, H. Lee, H. Kim, K. Lee, ...
  • [۱۷]A. Pohl, “A review of wireless SAW sensors,” IEEE Trans. ...
  • [۱۸]M. Penza, F. Antolini, and M. V. Antisari, “Carbon nanotubes ...
  • [۱۹]K. Länge, B. E. Rapp, and M. Rapp, “Surface acoustic ...
  • [۲۰]W. Xuan et al., “Fast response and high sensitivity ZnO/glass ...
  • [۲۱]D. M. Liu, J. Aguilar-Hernandez, K. Potje-Kamloth, and H. D. ...
  • [۲۲]H.-E. Endres and S. Drost, “Optimization of the geometry of ...
  • [۲۳]C. Hagleitner et al., “Smart single-chip gas sensor microsystem,” Nature, ...
  • [In reply to شمس جدید][۲۴]M. Kitsara et al., “Single chip ...
  • [۲۵]S. M. Radke and E. C. Alocilja, “Design and fabrication ...
  • [۲۶]M. Varshney and Y. Li, “Interdigitated array microelectrodes based impedance ...
  • [۲۷]S. M. Radke and E. C. Alocilja, “A microfabricated biosensor ...
  • [۲۸]S. M. Radke and E. C. Alocilja, “A high density ...
  • [۲۹]N. Blaž, M. Kisić, Č. Žlebič, G. Mišković, G. Radosavljević, ...
  • [۳۰]Q. Tan et al., “A novel interdigital capacitor pressure sensor ...
  • [۳۱]L. Zhao and E. M. Yeatman, “Micro capacitive tilt sensor ...
  • [۲]S. M. Sze, Semiconductor sensors, vol. ۵۵. Wiley New York, ...
  • [۳]P. Hu, J. Guo, and J. Tan, “An annular planar-capacitive ...
  • [۴]G. González, E. S. Kolosovas-Machuca, E. López-Luna, H. Hernández-Arriaga, and ...
  • [۵]N. Zoric, A. Iavorschi, M. Sireteanu, G. Viziteu, and R. ...
  • [۶]N. Angkawisittpan and T. Manasri, “Determination of sugar content in ...
  • [۷]…..http://mathworld.wolfram.com/CompleteEllipticIntegraloftheFirstKind.htm ...
  • [۸]A. V Mamishev, K. Sundara-Rajan, F. Yang, Y. Du, and ...
  • زینب ورع و مهدیه مهران«مروری بر خازن های بین انگشتی ...
  • [۱۰]R. T. Sheldon and N. Bowler, “An interdigital capacitive sensor ...
  • [۱۱]Y. Liu, Y. Huang, R. Tang, and B. Wang, “Application ...
  • [۱۲]C.-L. Zhao, M. Qin, and Q.-A. Huang, “A fully packaged ...
  • [۱۳]H. Farahani, R. Wagiran, and M. Hamidon, “Humidity sensors principle, ...
  • [۱۴]P. Fürjes, A. Kovacs, C. Dücso, M. Ádám, B. Müller, ...
  • [۱۵]C. Laville, C. Pellet, and G. N’Kaoua, “Interdigitated humidity sensors ...
  • [۱۶]Y. Kim, B. Jung, H. Lee, H. Kim, K. Lee, ...
  • [۱۷]A. Pohl, “A review of wireless SAW sensors,” IEEE Trans. ...
  • [۱۸]M. Penza, F. Antolini, and M. V. Antisari, “Carbon nanotubes ...
  • [۱۹]K. Länge, B. E. Rapp, and M. Rapp, “Surface acoustic ...
  • [۲۰]W. Xuan et al., “Fast response and high sensitivity ZnO/glass ...
  • [۲۱]D. M. Liu, J. Aguilar-Hernandez, K. Potje-Kamloth, and H. D. ...
  • [۲۲]H.-E. Endres and S. Drost, “Optimization of the geometry of ...
  • [۲۳]C. Hagleitner et al., “Smart single-chip gas sensor microsystem,” Nature, ...
  • [In reply to شمس جدید][۲۴]M. Kitsara et al., “Single chip ...
  • [۲۵]S. M. Radke and E. C. Alocilja, “Design and fabrication ...
  • [۲۶]M. Varshney and Y. Li, “Interdigitated array microelectrodes based impedance ...
  • [۲۷]S. M. Radke and E. C. Alocilja, “A microfabricated biosensor ...
  • [۲۸]S. M. Radke and E. C. Alocilja, “A high density ...
  • [۲۹]N. Blaž, M. Kisić, Č. Žlebič, G. Mišković, G. Radosavljević, ...
  • [۳۰]Q. Tan et al., “A novel interdigital capacitor pressure sensor ...
  • [۳۱]L. Zhao and E. M. Yeatman, “Micro capacitive tilt sensor ...
  • نمایش کامل مراجع