Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings
Login |Register |Help |عضویت کتابخانه ها
Paper
Title

مروری بر کاربرد خازن های بین انگشتی در سنسورهای خازنی

فصلنامه عصر برق، دوره: 8، شماره: 15
Year: 1400
COI: JR_KEEE-8-15_005
Language: PersianView: 70
This Paper With 9 Page And PDF Format Ready To Download

Buy and Download

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این Paper را که دارای 9 صفحه است به صورت فایل PDF در اختیار داشته باشید.
آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

Authors

زینب ورع - آزمایشگاه RF MEMS و بایونانوالکترونیک بخش مهندسی برق دانشگاه شهید باهنر کرمان
مهدیه مهران - آزمایشگاه RF MEMS و بایونانوالکترونیک بخش مهندسی برق دانشگاه شهید باهنر کرمان

Abstract:

 سنسور المانی است که یک کمیت فیزیکی را به سیگنال الکتریکی تبدیل می کند. سنسورهای خازنی به دلیل عملکرد خوب، داشتن، حساسیت عالی، طراحی و ساخت آسان و… بیشتر از سنسورهای دیگر مورد توجه قرار گرفته اند. با افزایش تقاضا برای یکپارچه سازی سیستم های الکترونیکی بر روی تراشه و نیاز به کوچک سازی سنسورها، سنسورهای خازنی مبتنی بر خازن بین انگشتی بسیار مورد توجه قرار گرفته اند. خازن بین انگشتی، از تعدادی زوج الکترود شانه ای بر روی بستر عایق تشکیل می شود. این خازن ها متداول ترین ساختار خازنی مورد استفاده در حوزه سیستم های میکرو الکترومکانیکی هستند که ظرفیت و حساسیت آنها در مقایسه با سایر خازن ها به نسبت بالاتر است. مزایای خازن های بین انگشتی، آن ها را به گزینه ای محبوب برای کاربرد در سنسورهای مختلف تبدیل کرده است. این مقاله به مروری بر کاربرد خازن های بین انگشتی در سنسورهای خازنی مختلف، پرداخته است.  

Keywords:

Interdigital capacitor , Capacitive sensors , MEMS. , خازن های بین انگشتی , سنسورهای خازنی , سیستم های میکرو الکترومکانیکی

Paper COI Code

This Paper COI Code is JR_KEEE-8-15_005. Also You can use the following address to link to this article. This link is permanent and is used as an article registration confirmation in the Civilica reference:

https://civilica.com/doc/1253259/

How to Cite to This Paper:

If you want to refer to this Paper in your research work, you can simply use the following phrase in the resources section:
ورع، زینب و مهران، مهدیه،1400،مروری بر کاربرد خازن های بین انگشتی در سنسورهای خازنی،https://civilica.com/doc/1253259

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :

  • [۱]N. Maluf, “An introduction to microelectromechanical systems engineering.” Measurement Science ...
  • [۲]S. M. Sze, Semiconductor sensors, vol. ۵۵. Wiley New York, ...
  • [۳]P. Hu, J. Guo, and J. Tan, “An annular planar-capacitive ...
  • [۴]G. González, E. S. Kolosovas-Machuca, E. López-Luna, H. Hernández-Arriaga, and ...
  • [۵]N. Zoric, A. Iavorschi, M. Sireteanu, G. Viziteu, and R. ...
  • [۶]N. Angkawisittpan and T. Manasri, “Determination of sugar content in ...
  • [۷]…..http://mathworld.wolfram.com/CompleteEllipticIntegraloftheFirstKind.htm ...
  • [۸]A. V Mamishev, K. Sundara-Rajan, F. Yang, Y. Du, and ...
  • زینب ورع و مهدیه مهران«مروری بر خازن های بین انگشتی ...
  • [۱۰]R. T. Sheldon and N. Bowler, “An interdigital capacitive sensor ...
  • [۱۱]Y. Liu, Y. Huang, R. Tang, and B. Wang, “Application ...
  • [۱۲]C.-L. Zhao, M. Qin, and Q.-A. Huang, “A fully packaged ...
  • [۱۳]H. Farahani, R. Wagiran, and M. Hamidon, “Humidity sensors principle, ...
  • [۱۴]P. Fürjes, A. Kovacs, C. Dücso, M. Ádám, B. Müller, ...
  • [۱۵]C. Laville, C. Pellet, and G. N’Kaoua, “Interdigitated humidity sensors ...
  • [۱۶]Y. Kim, B. Jung, H. Lee, H. Kim, K. Lee, ...
  • [۱۷]A. Pohl, “A review of wireless SAW sensors,” IEEE Trans. ...
  • [۱۸]M. Penza, F. Antolini, and M. V. Antisari, “Carbon nanotubes ...
  • [۱۹]K. Länge, B. E. Rapp, and M. Rapp, “Surface acoustic ...
  • [۲۰]W. Xuan et al., “Fast response and high sensitivity ZnO/glass ...
  • [۲۱]D. M. Liu, J. Aguilar-Hernandez, K. Potje-Kamloth, and H. D. ...
  • [۲۲]H.-E. Endres and S. Drost, “Optimization of the geometry of ...
  • [۲۳]C. Hagleitner et al., “Smart single-chip gas sensor microsystem,” Nature, ...
  • [In reply to شمس جدید][۲۴]M. Kitsara et al., “Single chip ...
  • [۲۵]S. M. Radke and E. C. Alocilja, “Design and fabrication ...
  • [۲۶]M. Varshney and Y. Li, “Interdigitated array microelectrodes based impedance ...
  • [۲۷]S. M. Radke and E. C. Alocilja, “A microfabricated biosensor ...
  • [۲۸]S. M. Radke and E. C. Alocilja, “A high density ...
  • [۲۹]N. Blaž, M. Kisić, Č. Žlebič, G. Mišković, G. Radosavljević, ...
  • [۳۰]Q. Tan et al., “A novel interdigital capacitor pressure sensor ...
  • [۳۱]L. Zhao and E. M. Yeatman, “Micro capacitive tilt sensor ...
  • [۲]S. M. Sze, Semiconductor sensors, vol. ۵۵. Wiley New York, ...
  • [۳]P. Hu, J. Guo, and J. Tan, “An annular planar-capacitive ...
  • [۴]G. González, E. S. Kolosovas-Machuca, E. López-Luna, H. Hernández-Arriaga, and ...
  • [۵]N. Zoric, A. Iavorschi, M. Sireteanu, G. Viziteu, and R. ...
  • [۶]N. Angkawisittpan and T. Manasri, “Determination of sugar content in ...
  • [۷]…..http://mathworld.wolfram.com/CompleteEllipticIntegraloftheFirstKind.htm ...
  • [۸]A. V Mamishev, K. Sundara-Rajan, F. Yang, Y. Du, and ...
  • زینب ورع و مهدیه مهران«مروری بر خازن های بین انگشتی ...
  • [۱۰]R. T. Sheldon and N. Bowler, “An interdigital capacitive sensor ...
  • [۱۱]Y. Liu, Y. Huang, R. Tang, and B. Wang, “Application ...
  • [۱۲]C.-L. Zhao, M. Qin, and Q.-A. Huang, “A fully packaged ...
  • [۱۳]H. Farahani, R. Wagiran, and M. Hamidon, “Humidity sensors principle, ...
  • [۱۴]P. Fürjes, A. Kovacs, C. Dücso, M. Ádám, B. Müller, ...
  • [۱۵]C. Laville, C. Pellet, and G. N’Kaoua, “Interdigitated humidity sensors ...
  • [۱۶]Y. Kim, B. Jung, H. Lee, H. Kim, K. Lee, ...
  • [۱۷]A. Pohl, “A review of wireless SAW sensors,” IEEE Trans. ...
  • [۱۸]M. Penza, F. Antolini, and M. V. Antisari, “Carbon nanotubes ...
  • [۱۹]K. Länge, B. E. Rapp, and M. Rapp, “Surface acoustic ...
  • [۲۰]W. Xuan et al., “Fast response and high sensitivity ZnO/glass ...
  • [۲۱]D. M. Liu, J. Aguilar-Hernandez, K. Potje-Kamloth, and H. D. ...
  • [۲۲]H.-E. Endres and S. Drost, “Optimization of the geometry of ...
  • [۲۳]C. Hagleitner et al., “Smart single-chip gas sensor microsystem,” Nature, ...
  • [In reply to شمس جدید][۲۴]M. Kitsara et al., “Single chip ...
  • [۲۵]S. M. Radke and E. C. Alocilja, “Design and fabrication ...
  • [۲۶]M. Varshney and Y. Li, “Interdigitated array microelectrodes based impedance ...
  • [۲۷]S. M. Radke and E. C. Alocilja, “A microfabricated biosensor ...
  • [۲۸]S. M. Radke and E. C. Alocilja, “A high density ...
  • [۲۹]N. Blaž, M. Kisić, Č. Žlebič, G. Mišković, G. Radosavljević, ...
  • [۳۰]Q. Tan et al., “A novel interdigital capacitor pressure sensor ...
  • [۳۱]L. Zhao and E. M. Yeatman, “Micro capacitive tilt sensor ...

Research Info Management

Certificate | Report | من نویسنده این مقاله هستم

اطلاعات استنادی این Paper را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

Scientometrics

The specifications of the publisher center of this Paper are as follows:
Type of center: دانشگاه دولتی
Paper count: 18,134
In the scientometrics section of CIVILICA, you can see the scientific ranking of the Iranian academic and research centers based on the statistics of indexed articles.

Share this page

More information about COI

COI stands for "CIVILICA Object Identifier". COI is the unique code assigned to articles of Iranian conferences and journals when indexing on the CIVILICA citation database.

The COI is the national code of documents indexed in CIVILICA and is a unique and permanent code. it can always be cited and tracked and assumed as registration confirmation ID.

Support