زینب ورع - آزمایشگاه RF MEMS و بایونانوالکترونیک بخش مهندسی برق دانشگاه شهید باهنر کرمان
مهدیه مهران - آزمایشگاه RF MEMS و بایونانوالکترونیک بخش مهندسی برق دانشگاه شهید باهنر کرمان

 سنسور المانی است که یک کمیت فیزیکی را به سیگنال الکتریکی تبدیل می کند. سنسورهای خازنی به دلیل عملکرد خوب، داشتن، حساسیت عالی، طراحی و ساخت آسان و… بیشتر از سنسورهای دیگر مورد توجه قرار گرفته اند. با افزایش تقاضا برای یکپارچه سازی سیستم های الکترونیکی بر روی تراشه و نیاز به کوچک سازی سنسورها، سنسورهای خازنی مبتنی بر خازن بین انگشتی بسیار مورد توجه قرار گرفته اند. خازن بین انگشتی، از تعدادی زوج الکترود شانه ای بر روی بستر عایق تشکیل می شود. این خازن ها متداول ترین ساختار خازنی مورد استفاده در حوزه سیستم های میکرو الکترومکانیکی هستند که ظرفیت و حساسیت آنها در مقایسه با سایر خازن ها به نسبت بالاتر است. مزایای خازن های بین انگشتی، آن ها را به گزینه ای محبوب برای کاربرد در سنسورهای مختلف تبدیل کرده است. این مقاله به مروری بر کاربرد خازن های بین انگشتی در سنسورهای خازنی مختلف، پرداخته است.  

Interdigital capacitor, Capacitive sensors, MEMS., خازن های بین انگشتی, سنسورهای خازنی, سیستم های میکرو الکترومکانیکی