بررسی چگونگی رفتار جریان خروجی از لایه خود اندازه گیر میکروتیر پیزوالکتریک مرتعش در محیط مایع

میکروتیرهای پیزوالکتریک یکی از ارکان اصلی سیستم های میکروالکترومکانیکی می باشند. این نوع تیرها با دارا بودن لایه پیزوالکتریک، توانایی تحریک و اندازه گیری بدون نیاز به تجهیزات اضافی دارند، بدین ترتیب میکروتیرها می توانند به صورت خود محرک و خود اندازه گیر مورد استفاده قرار گیرند. در این مقاله با مشخص بودن جریان الکتریکی خروجی از لایه پیزوالکتریک پس از حل معادله دیفرانسیل خطی میکروتیر با دو لایه پیزوالکتریک در حرکت ارتعاشی در محیط مایع، به بررسی و مطالعه عوامل تاثیرگذار از جمله دانسیته سیال و جنس لایه پیزوالکتریک، بر این پارامتر پرداخته می شود. از آنجایی که در طراحی میکروتیرهای پیزوالکتریک به عنوان اندازه گیر ابعاد هندسی هر یک از لایه ها تاثیر به سزایی بر جریان الکتریکی خروجی از لایه دارند، بنابراین با استفاده از روش آنالیز حساسیت، تاثیرگذارترین پارامترهای هندسی بر جریان الکتریکی مشخص می شود. نتایج آنالیز حساسیت نشان می دهند که طول لایه پایه و طول میکروتیر تاثیرگذارترین ابعاد هندسی بر جریان خروجی از لایه پیزوالکتریک در سه مد اول نوسانی می باشند.

Keywords:

میکروتیر پیزوالکتریک , محیط مایع , خود اندازه گیر , آنالیز حساسیت , ارتعاش خطی