تاثیر مدت زمان بازپخت بر روی ویژگی های فیزیکی لایه های نازک نانوساختار TiWN تهیه شده به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی

در این پژوهش، لایه های نازک TiWN روی زیرلایه هایی از جنس کوارتز در دمای اتاق با روش کندوپاش مگنترونی واکنشی دوگانه تحت شار sccm ۱/۳۱ ازگاز نیتروژن و دو توان تخلیه ی ۸۰ و ۱۰۰ وات برای هدف تنگستنی و توان تخلیه ثابت ۲۵۰ وات برای هدف تیتانیومی، نهشته شده و در نهایت در دمای ۵۰۰⁰C وات برای هدف تیتانیومی، نهشته شده و در نهایت در دمای ۲، ۴ و ۶ ساعت مورد بازپخت قرار گرفتند. لایه های تهیه شده توسط پراش پرتو X، میکروسکوپ الکترونی روبشی و دستگاه اسپکتروفتومتر در محدودهی طول موج nm ۲۰۰-۱۱۰۰ مورد بررسی قرار گرفتند. نتایج نشان داد که با افزایش زمان بازپخت، میزان اکسیداسیون و نیتراسیون لایه ها افزایش یافته که در نتیجه آن گاف انرژی لایه ها افزایش یافته است. همچنین نتایج میکروسکوپ الکترونی روبشی نشان داد که اندازهی دانه ها با افزایش زمان بازپخت، بیشتر شده که با افزایش میزان طیف عبور لایه ها در تناسب می باشد

Keywords:

بازپخت , تیتانیوم تنگستن نیترید , کندوپاش مگنترونی , گاف انرژی , لایهی نازک