بررسی پایداری و مکانیزم تخریب پوشش های ژرمانیوم-کربن در محیط مه نمکی

Publish Year: 1399
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: Persian
View: 226

This Paper With 12 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

JR_IJSSE-16-43_004

تاریخ نمایه سازی: 8 دی 1400

Abstract:

در پژوهش حاضر، پوشش های ژرمانیوم-کربن (Ge۱-x-Cx) به وسیله فرایند رسوب دهی شیمیایی بخار به کمک پلاسما (PECVD) با استفاده از پیش ماده های گازی GeH۴ و CH۴ روی زیرلایه های سیلیسیومی و شیشه ای رسوب داده شدند. به منظور بررسی پایداری محیطی پوشش ها، از آزمون مه نمکی استفاده شد. به منظور مشخصه یابی ریزساختاری و پیوندی پوشش ها به ترتیب از میکروسکپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM) مجهز به طیف سنج تفکیک انرژی (EDS) و طیف سنج فوتوالکترون پرتو ایکس (XPS) استفاده شد. بررسی کیفیت فیزیکی نمونه ها پس از گذشت ۲۴ ساعت قرارگیری در معرض مه نمکی، پایداری بسیار مناسب تمام پوشش های ژرمانیوم-کربن رسوب داده شده در شرایط مختلف را نشان داد؛ به گونه ای که هیچ اثری از کنده شدن، پوسته شدن، ترک برداشتن و تاول زدن روی نمونه ها مشاهده نشد. ارزیابی های میکروسکپی الکترونی روبشی از سطح رویی پوشش ها نیز این موضوع را اثبات کرد. تنها برای پوشش Ge۱-x-Cx غنی از کربن، بخش هایی از لبه های پوشش تخریب شد. سازوکار تخریب پوشش به صورت تاول زدن و توسعه ترک به واسطه نفوذ مولکول های آب به فصل مشترک آزاد پوشش/ زیرلایه تشخیص داده شد.

Keywords:

ژرمانیوم-کربن , رسوبدهی شیمیایی بخار به کمک پلاسما , آزمون مه نمکی , پایداری محیطی

Authors

حسین جمالی

دانشگاه صنعتی مالک اشتر

رضا مظفری نیا

دانشگاه صنعتی مالک اشتر

اکبر اسحاقی

دانشگاه مالک اشتر

فاطمه سوسنی

دانشگاه صنعتی مالک اشتر

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • M.H. Asghar, M.B. Khan and S. Naseem, Design and preparation ...
  • I.S. Gainutdinov, N.Y. Shuvalov, R.S. Sabirov, V.A. Ivanov, R.R. Gareev ...
  • H.A. Macleod, Thin-Film Optical Filters, ۴th ed., CRC Press, USA, ...
  • I.S. Gainutdinov, N.Y. Shuvalov, R.S. Sabirov, V.A. Ivanov, R.R. Gareev ...
  • S. Wakeham, Protective, antireflection coatings for multispectral zinc sulphide, PhD ...
  • M.B. Kala, P.K. Bandyopadhyay and B.B. Nautiyal, Thorium free antireflection ...
  • D.C. Harris, Materials for infrared windows and domes, SPIE, Washington, ...
  • W.S. Choi and B. Hong, The effect of annealing on ...
  • C. Hu, W. Zheng, H. Tian, Le. Xu and Q. ...
  • C.Q. Hu, L. Xu, H. W. Tian, Z.S. Jin, X.Y. ...
  • B. Liu, Y. Zou, D. Ren, L. Lin, and C. ...
  • H. Jamali, R. Mozafarinia, F. Sousani and A. Eshagh, The ...
  • X.S. Che, Z.T. Liu, Y.P. Li and N. Wang, Effects ...
  • J.Q. Zhu, C.Z. Jiang, J.C. Han, H.L. Yu, J.Z. Wang, ...
  • A. Mahmood, A. Shah, F.F. Castillon, L.C. Araiza, J. Heiras, ...
  • H. Jamali, R. Mozafarinia, and A. Eshagh, Evaluation of chemical ...
  • H. Jamali, R. Mozafarinia, and A. Eshagh, Effect of deposition ...
  • H. Jamali, R. Mozafarinia, and A. Eshagh, The effect of ...
  • F. Sousani, A. Eshagh, R. Mozafarinia and H. Jamali, Antireflection ...
  • F. Sousani, A. Eshagh, R. Mozafarinia and H. Jamali, Determination ...
  • F. Sousani, H. Jamali, R. Mozafarinia, and A. Eshagh, Thermal ...
  • MIL-C-۰۰۶۷۵C Standard (MU), Coating of glass optical elements (anti-reflection), ۱۹۶۴ ...
  • ASTM-B۱۱۷-۱۱ Standard, Standard practice for operating salt spray (Fog) Apparatus, ...
  • X. Wu, W. Zhang, L. Yan and R. Luo, The ...
  • X. Wu, W. Zhang, R. Luo and L. Yan, Mechanical ...
  • B.P. Benzi, E. Bottizzo and C. Demaria, Characterization and properties ...
  • J. Szmidt, M. Gazicki-lipman, H. Szymanowski, R. Mazurczyk, A. Werbowy ...
  • R.T. Sanderson, Chemical Bonds and Bond Energy, Second Edition, Academic ...
  • J.T. Herrold, Growth and characterization of crystalline Ge۱-xCx thin films ...
  • C.Q. Hu, J.Q. Zhu, W.T. Zheng and J.C. Han, Annealing ...
  • T. Goto, R. Banal and T. Kimura, Morphology and preferred ...
  • T. Meziani, P. Colpo and F. Rossi, PECVD of diamond-like ...
  • N. Gupta, B.P. Veettil, H. Xia, S.K. Karuturi, G. Conibeer ...
  • N. Gupta, B.P. Veettill, G. Conibeer and S. Shrestha, Effect ...
  • C.Y. Zhan, L.W. Wang and N.K. Huang, Analysis of the ...
  • C.Y. Zhan, L.W. Wang and N.K. Huang, Effect of Bias ...
  • K. Fu, Y. Jin, C. Zu, K. He, B. Xu, ...
  • J.M. Blocher, Structure/property/process relationships in chemical vapor deposition CVD, Journal ...
  • J. Vilcarromero and F.C. Marques, Hardness and elastic modulus of ...
  • C. Hu, L. Qiao, H. Tian, X. Lu, Q. Jiang ...
  • نمایش کامل مراجع