حسین جمالی - دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی مالک اشتر
رضا مظفری نیا - دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی مالک اشتر

هدف از پژوهش حاضر، تولید پوشش محافظ ژرمانیوم-کربن به وسیله فرآیند رسوب دهی شیمیایی از بخار به کمک پلاسما (PECVD) با استفاده از پیش ماده های گازی ژرمان (GeH۴) و متان (CH۴) و سپس مشخصه یابی آن است. برای این منظور، از میکروسکپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM) مجهز به طیف سنج تفکیک انرژی (EDS)، پراش سنج پرتو ایکس (XRD)، طیف سنج مادون قرمز تبدیل فوریه (FTIR)، طیف سنج فتوالکترون پرتو ایکس (XPS)، طیف سنج فروشکست القائیده لیزری (LIBS)، آزمون نانوفرورونده و آزمون چسبندگی استفاده شد. بر اساس ارزیابی ساختاری، پیوند خوردن برخی از اتم های ژرمانیوم با اتم های کربن و وجود زمینه ژرمانیوم-کربن در پوشش اثبات شد. همچنین نتایج، نشان دهنده تشکیل پوشش ژرمانیوم-کربن آمورف به صورت یک لایه متراکم، همگن و عاری از هرگونه تخلخل و ناپیوستگی با چسبندگی بسیار مناسب به زیرلایه بود. مقدار سختی و مدول الاستیک پوشش ژرمانیوم-کربن به ترتیب حدود ۱/۷ و GPa ۱/۹۵ به دست آمد. 

ژرمانیوم-کربن, رسوب دهی شیمیایی از بخار به کمک پلاسما, مشخصه یابی