میکروفن خازنی با اندازه کوچک و حساسیت بالا با به کار گیری دیافراگم دایروی با مرکز ثابت
Publish Year: 1394
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: Persian
View: 194
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_JIPET-6-24_006
تاریخ نمایه سازی: 19 دی 1400
Abstract:
در این مقاله، یک میکروفن خازنیMEMS جدید تک تراشه بر روی ویفر سیلیکونی با کمینه کردن اندازه و کاهش استحکام مکانیکی با استفاده از دیافراگم دایروی با مرکز ثابت پیشنهاد شده است. در میکروفن پیشنهادی دیافراگم شامل تعدادی حفره می باشد که موجب عبور هوا در شکاف مابین صفحه پشتی و دیافراگم می شود و به این ترتیب میرائی مربوط به صدا را در میکروفن کاهش می دهد. تازگی این روش، ایجاد میکروفن دایروی با مرکز ثابت می باشد که قطر دیافراگم کمتر از میکروفن خازنی مرسوم به دست می آید. ابتدا تحلیل مکانیکی روی دیافراگم میکروفن انجام می گیرد تا ولتاژ کششی به دست آید. ولتاژ کششی میکروفن دایروی پیشنهادی ۱۴ ولت می باشد. با توجه به ولتاژ کششی بدست آمده٬ ولتاژ بایاس به میکروفن اعمال شده و پارامترهای مختلف مانند ظرفیت خازنی و حساسیت اندازه گیری شد. با توجه به نتایج شبیه سازی کامسول (COMSOL)، میکروفن پیشنهادی با دیافراگم به قطر ۴۰۰ میکرومتر و ضخامت ۵/۱ میکرومتر، حساسیت ۲۳- دسی بل را نشان داد. در مقایسه با کارهای قبلی، میکروفن پیشنهادی با ولتاژ تغذیه کمتر عملکرد فرکانسی بهتر و حساسیت بیشتری را برای سنس نمودن صدا عرضه می کند
Keywords:
Authors
نسترن نادمی
کارشناس ارشد - دانشکده مهندسی برق – واحد تهران جنوب، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران
جواد کرمدل
دانشیار - دانشکده مهندسی برق – واحد تهران جنوب، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :