سجاد دهقانی - بخش مهندسی برق و الکترونیک دانشگاه شیراز
عبدالغفار برزگر - بخش مهندسی مواددانشگاه شیراز
محمدحسین شیخی - بخش مهندسی برق و الکترونیک دانشگاه شیراز

دراین پژوهش پس از آماده سازی نمونه ها و تهیه محلول مورد نظر عملیات لایه نشانی به روش چرخشی روی زیرلایه فولاد ضدزنگ L316 انجام شده و نمونه ها پس از خشک کردن تحت عملیات حرارتی پخت قرارگرفتند پارامترهای مختلف ساخت لایه های نازک PZT به روش سل - ژل جهت دستیابی به فیلم با کیفیت مناسب و با ضخامتهای مختلف ارزیابی و بهینه سازی گردید از تصاویر SEM و آنالیز xRD برای بررسی مورفولوژی سطح و وضعیت کریستالی لایه ایجاد شده استفاده شد درضمن خواص مختلفیچون ضریب دی الکتریک تانژانت تلفات، پلاریزاسیون باقیمانده Pr و میدان مجبور کننده EC بارسم منحنی هیسترزیس P-E اندازه گیری شد نتایج اولیه بدست آمده از این مطالعه نشانداد که لایه ایجاد شده خواص مناسبی دارد.

پیزوالکتریک، سل - ژل، لایه نازک ،Pb(Zr,Ti)O3