ایجاد و بررسی خواص پوشش DLC به روش PACVD در حضور میان لایه ی TiN

Publish Year: 1400
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 769

This Paper With 16 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

IMES15_190

تاریخ نمایه سازی: 13 بهمن 1400

Abstract:

پوشش های کربن شبه الماس (DLC) خواص منحصر بفردی از قبیل سختی بالا، مقاومت به سایش و خوردگی، ضریب اصطکاک کم و دماهای رسوب پایین دارند. اصلی ترین مشکل پوشش های DLC چسبندگی ضعیف آنها به زیرلایه های فلزی است. به منظور افزایش چسبندگی پوشش DLC به زیرلایه های فولاد L ۶۱۳ و آلیاژ V -۴ Al -۳ Ti از میان لایه TiN استفاده شد. پوشش DLC و لایه میانی TiN روی زیرلایه های فولاد L ۶۱۳ و آلیاژ V -۴ Al -۳ Ti به روش رسوب دهی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما (PACVD) رسوب دهی شدند. به منظور بررسی ساختار و خواص مکانیکی پوشش های DLC از آزمون های طیف سنجی رامان، طیف سنجی تبدیل فوریه مادون قرمز (FT-IR) ، پراش اشعه ایکس زاویه کم (GIXRD) ، طیف سنجی پراش انرژی اشعه ایکس (EDS) ، میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) ، آزمون ریزسختی سنجی، چسبندگی و سایش استفاده شد. نتایج نشانداد پوشش DLC ایجاد شده در حضور لایه میانی TiN روی زیرلایه ی فولاد L ۶۱۳ با داشتن بیشینه سختی، کمینه ضریب اصطکاک و دارای چسبندگی بهتر نسبت به نمونه ی دیگر است.

Keywords:

کربن شبه الماس DLC , فولاد زنگ نزن ۶۱۳ , آلیاژ V -۴ Al -۳ Ti , رسوب دهی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما PACVD , لایه میانی , TiN

Authors

فاطمه شیری

دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی مواد، دانشگاه تربیت مدرس، تهران

امیر عبداله زاده

استاد متالورژی، دانشگاه تربیت مدرس، تهران

فرید موثق آلانق

دانشجوی دکترای مهندسی مواد، دانشگاه تربیت مدرس، تهران