بررسی اثر دما و زمان بازپخت برروی خواص مورفولوژیک فیلم نازک تانتالوم تهیه شده به روش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم

دراین پژوهش ابتدا سه نمونه فیلم نازک تانتالوم به روش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم استوانه ای برروی زیرلایه سیلیکون با زمان کندوپاش 1/5 دقیقه تحت شرایط کاملا یکسان درحضور گازآرگون تهیه گردید در مرحله بعد دو نمونه از فیلم ها به مدت 45 دقیقه تحت بازپخت دردو دمای متفاوت 750 دره و 900 درجه و یک نمونه به مدت 60 دقیقه تحت بازپخت دردمای 750 درجه قرارگرفت از آنالیز های پراش اشعه ایکس XRD میکروسکوپ نیروی اتمی AFM و آنالیز میکروسکوپ الکترونی رویشی SEM نیز به ترتیب برای تشخیص جهت ترجیحی دانه ها بررسی مورفولوژی سطح و اندازه گیری سایز دانه ها استفاده شد نتایج آنالیز XRD بیانگر شکل گیری فاز β دردمای 750 درجه و درزمان 45 دقیقه می باشد با افزایش دمای باز پخت به 900درجه تغییر فاز از β به a بدون هیچ انحرافی مشاهده شد اما با افزایش زمان بازپخت نتیجه بیان شده با انحرافی معادل 0/2 درجه مشاهده گردید. بهدلیل تغییر فاز از β به a زبری سطح نمونه ها با افزایش دما و زمان بازپخت کاهش یافت که این نتیجه توسط آنالیز میکروسکوپ نیروی اتمی AFM بدست آمد.

Keywords:

تانتالوم , دمای بازپخت , زمان بازپخت , تشکیل فاز