تاثیر دمای بازپخت برروی خصوصیات ساختاری لایه های اکسید تیتانیوم برروی زیرلایه های کوارتز
Publish Year: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 759
This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCNN01_123
تاریخ نمایه سازی: 17 اردیبهشت 1391
Abstract:
تیتانیوم به روش کندوپاش مغناطیسی DC برروی زیرلایه های سیلیکان و کوارتز انباشت شد نمونه ها در کوره تحت گاز اکسیژن با فلوی sccm/min100 و دردماهای 300، 500 ، 700 و 1000 درجه سانتی گراد به مدت یک ساعت قرارگرفت تاثیر دمای بازپخت برروی خواص ساختاری لایه های نازک TiO2 بوسیله آنالیز XRD مورفولوژی سطح توسط آنالیز AFM بررسی شد با افزایش دمای بازپخت و کریستالوگرافی سطح از حالت آمورف به سه حالت آناتاس روتایل و بروکیت تغییر نمود زبری سطح و اندازه بلورک ها نیز تغییر یافت.
Keywords:
Authors
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :