CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

بررسی تجربی پارامترهای الکتریکی تخلیه تابان CCRF فشار اتمسفری در فرکانس 13/56 مگاهرتز

عنوان مقاله: بررسی تجربی پارامترهای الکتریکی تخلیه تابان CCRF فشار اتمسفری در فرکانس 13/56 مگاهرتز
شناسه ملی مقاله: PLASMA01_024
منتشر شده در اولین کنفرانس ملی تخلیه های الکتریکی، پلاسما و مهندسی پلاسما در سال 1390
مشخصات نویسندگان مقاله:

فرشاد صحبت زاده - گروه فیزیک اتمی و مولکولی-ازمایشگاه تحقیقاتی لیزر و پلاسما- گروه فیزی
هدی مهدوی - گروه فیزیک اتمی و مولکولی-ازمایشگاه تحقیقاتی لیزر و پلاسما- گروه فیزی
زهرا امیدی - گروه فیزیک اتمی و مولکولی-ازمایشگاه تحقیقاتی لیزر و پلاسما- گروه فیزی

خلاصه مقاله:
در این مقاله به تولید و بررسی مشخصات الکتریکی پلاسمای سرد اتمسفری آرگون در فرکانس رادیدیی 13/56 مگاهرتز و با استفاده از روش تخلیه سد دی الکتریک پرداختیم . پارامترهای الکتریکی همچون ولتاژ کل ، جریان کل و اختلاف فاز موج ولتاژ و جریان اندازه گیری شدند . همچنین با استفاده از یک مدار الکتریکی معادل ، جریان ، اختلاف فاز ، امپدانس ، راکتانس و مقاومت تخلیه و نیز ظرفیت غلاف بار-فضا در نزدیکی الکترودها را در توانهای مختلف محاسبه کردیم.

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/144136/