تله اندازی نانو ذرات غبار در غلاف پلاسمایی

در این کار از یک مدل سه سیالی برای بررسی دینامیک ذرات غبار در غلاف پلاسمای غباری استفاده شده است. مطالعه در شرایطی انجام می شود که نیروی ترموفورتیک مرتبط با گرادیان گاز خنثی یکی از مهم ترین نیروهای وارد بر ذرات غبار در غلاف است. نتایج بیانگر آن است که ضخامت غلاف و ماکزیمم توزیع چگالی غبار با افزایش گرادیان دمایی منفی خنثی ها افزایش می یابد. با کنترل مناسب گرادیان دمایی در گاز خنثی نیروی ترموفورتیک می تواند جهت نهشت واحدهای سازنده روی زیر لایه و یا دور کردن هر گونه الودگی ناخواسته از اطراف آن به کار گرفته شود. نیروی کشش یونی مشابه با نیروی گرانش باعث شتاب دادن ذرات غبار به سمت دیواره می گردد. نیروی کشش خنثی ها به عنوان یک نوع نیروی اصطکاکی در مقابل حرکت ذرات غبار به سمت دیواره سبب کاهش تجمع این ذرات در نزدیکی دیواره می شود. بر طبق این نتایج با کنترل پارامترهای پلاسما و ایجاد تعادل مناسب بین نیروهای وارد بر ذرات غبار به شرایط مناسبی برای به دام اندازی ذرات غبار در نزدیکی زیر لایه به دست می یابیم.