بررسی خواص حسگری لایه های اکسید قلع نانوساختار لایه نشانی شده به روش های تبخیر گرمایی و کند و پاش نسبت به اتانول

در این مقاله، نحوه ساخت و ارزیابی حسگرهای گاز مبتنی بر لایه نازک اکسید قلع نانوساختار به دو روش تبخیر گرمایی (نوع I) و کند و پاش (نوع II) نسبت به اتانول بررسی شده است. لایه نازک اکسید قلع برروی زیرلایه هایی از ویفر سیلیکن ایجاد و برروی آن ها عملیات حرارتی انجام شد. با استفاده از روش های ساختارسنجی و تحلیل مختلف SEM)، AFM، XRD و (EDS ریزساختار بدنه های نیمه هادی مورد ارزیابی قرار گرفت. تصاویر SEM، وجود دانه بندی یکنواخت با ابعاد نانومتری در هر دو نوع نمونه را نشان داد. مقاومت حسگرها در هوای تمیز و تغییرات گذرای مقاومت آن ها در پاسخ به تغییرات آنی بخار اتانول ppm)۳۰۰۰) مورد اندازه گیری قرار گرفت. پس از پایداری حسگرها، پاسخ ۳ برای حسگر نوع I و ۱۸/۱ برای حسگر نوع II به دست آمد که بیانگر خواص حسگری بهتر لایه نازک اکسید قلع نانوساختار ایجاد شده به روش تبخیر گرمایی بود. دلیل آن را می توان ناشی از سطح موثر، مکان های جذب و مقاومت بیس لاین بیش تر به واسطه داشتن دانه های ریزتر دانست هرچند به لحاظ زمان پاسخ و بازیابی، عملکرد کندتری داشت.

Keywords:

sensor , Tin oxide , Nanostructure , Thermal evaporation , Sputtering , Ethanol , حسگر گاز , اکسید قلع , نانوساختار , تبخیر گرمایی , کند و پاش , اتانول