فلزینه کاری پلیمرها: مس روی سیکلوتن

بررسی تقاضاهای تکنولوژی GSI و ULSI حاکی از نیاز ساختارهای چند لایه به کاهش زمان تاخیر انتقال علائم بین سیستمهای نیمه هادی است. این کاهش با استفاده از یک فلز هادی خوب مانند مس و یک غیر هادی کم ظرفیت تر از آنچه هم اکنون استفاده می شود مانند سیکلوتن ممکن است.در این مقاله نتایج حاصل از چسبندگی پوشش تبخیری و پراکنشی مس روی سیکلوتن ۳۰۲۲ بررسی می شود. پس از ارائه واکنشهای فصل مشترک فلز و پلیمر که رابطه مستقیم با چسبندگی دارد روشهای بهبود چسبندگی منجمله تغییر سطح پلیمر توسط پلاسمای نیتروژن ارائه می شود.;#۱۰ واژگان کلیدی: فلزینه کاری، سیکلوتن، چسبندگی، پلاسما، چند لایه;#۱۰

Keywords:

Metalization , Cyclotene , Adherence , Plasma , Multi-layer , فلزینه کاری , سیکلوتن , چسبندگی , پلاسما , چند لایه