ساخت و مشخصه یابی خواص فیزیکی لایه نازک اکسید روی به روش اسپری پایرولیزز و بررسی مقاومت سطحی چندلایه طلا/اکسید روی لایه نشانی شده در شرایط خلا

در این پژوهش خصوصیات فیزیکی لایه نازک اکسید روی به ازای ضخامت های مختلف با استفاده از روش اسپری مورد بررسی قرار گرفته است. با توجه به شرایطمحیطی و کاهش اثر مخرب رطوبت بر لایه های تهیه شده و جلوگیری از تخریب لایه ها، این لایه ها در دسیکاتور تحت خلا ۴-۱۰ Torr نگهداری میشوند. اکسیدروی بروی زیر لایه شیشه ای لایه نشانی شده است و بهینه دما برای لایه نشانی ۵۵۰C در نظر گرفته شده است. خصوصیات الکتریکی و اپتیکی لایه ها به ازایضخامت های مختلف با هم مقایسه شده است. بنابر نتایج افزایش ضخامت لایه ها موجب افزایش جذب نوری و کاهش شفافیت اپتیکی اکسید روی میشود درحالی کهمقاومت سطحی لایه ای نازک اکسید روی کاهش می یابد. بعد از لایه نشانی به روش اسپری، به منظور بهبود ویژگیهای الکتریکی و همچنین کاربرد آتی لایه ها درارتقای سلولهای خورشیدی، با روش کندوپاش در خلا ۴-۱۰ Torr یک لایه طلا با ضخامت ۱۰نانومتر لایه نشانی شد و مقاومت سطحی لایه ها از ۵۳کیلواهم برسانتی مترمربع به ۱۰۰۰اهم برسانتی مترمربع کاهش یافت.