مطالعه و مشخصه یابی لایه های نازک نانوساختار اکسید قلع آلاییده شده با آنتیموان به روش افشانه پایرولیزز

در این مطالعه لایه های نازک اکسید قلع آلاییده شده با آنتیموان به روش افشانه پایرولیزز مورد بررسی قرار گرفته اند. در تهیه لایه ها به پارامترهای مختلف، دمای زیرلایه، سرعت اسپری، حجم وغلظت محلول و فاصله نازل تا سطح زیرلایه توجه شده است ولایه هایی دارای ناخالصی با درصدهای وزنی مختلف آنتیموان در شرایط بهینه تهیه شده اند. پارامترهای بهینه شده عبارتند از دمای ۵۰۰ C، غلظت ۰.۲M و سرعت اسپری .۸ bar لایه ها از نظر خواص الکتریکی، اپتیکی و مورفولوژی با آنالیزهای پراش اشعه ایکس، میکروسکوپ الکترونی روبشی (FESEM)، طیف سنج فرابنفش محدوده مرئی نزدیک به طول موج های بلند (UV-vis-NIR) و اثر هال مورد بررسی قرار گرفتند. لایه های نازک اکسید قلع با درصدهای مختلف آلاییدگی آنتیموان ( از %۰ تا (%۲۰ رامطالعه کرده ایم. که نتایج به دست آمده به شرح زیر است: کمترین مقاومت ویژه مربوط به لایه اکسید قلع با %۳ وزنی آلاییدگی آنتیموان به اندازه ی ۰.۹۷ ۱۰-۳ا۴هم سانتی متر می باشد. میزان شفافیت این لایه نیز در حدود %۷۰ در ناحیه مرئی بدست آمد. همچنین با بررسی آنالیز پراش اشعه ایکس مشاهده می شود که لایه ها ساختار بلوری تتراگونال دارند و میانگین اندازه بلورک ها (در لایه با %۳ آلاییدگی) حدود ۳۳.۹۹ nm است. با توجه به نمودار XRD این لایه ها مشاهده می شود هرچه درصد آلاییدگی افزایش می یابد، قله ی (۲۰۰) بلندتر شده که این نشان دهنده جهت گیری ترجیحی لایه ها است.

Keywords:

اسپری پایرولیزز , لایه نازک , اکسید قلع , آنتیموان , آلاییدگی