کاربرد سیستم های میکروالکترومکانیکی در سیستم های مختلف الکترونیکی

فناوری MEMS۱ یا فناوری سیستم های میکروالکترومکانیکی ، حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حسگرها، محرکها و قطعات الکترونیکی بر روی یک لایه سیلیکون به کمک فناوری ساخت تراشه های میکرونی است . در واقع MEMS ، یا سیستم های میکرو الکترومکانیکی تلفیقی از اجزای مکانیکی ، حسگر ها ، بازو های مکانیکی و اجرای الکترونیکی هستند که بر روی لایه ای از ماده استراتژیک « سیلیکون » قرار دارند.این ساختار مکانیکی بسیار کوچک در ابعاد « میکرون » بر پایه تکنولوژی « تراشه های الکترونیکی » استوار است.فناوری MEMS یا فناوری سیستم های میکروالکترومکانیکی ، در صنایع مختلف و اثرگذار جهان از جمله صنایع خودروسازی ، موشکی و نظامی کاربرد بسیار زیادی دارند. با پیشرفت تکنولوژی، امروزه نیاز به داشتن لوازم اندازه گیری دقیق تر در صنعت خودروسازی، پزشکی، کشاورزی، هوافضا و سایر علوم بیش از پیش احساس میگردد. در همین راستا، پیشرفت در فناوری ساخت ریز تراشه ها IC۲ ها سبب ظهور تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS) با دقت کارکردی بالا و ایجاد امکان ساخت دستهای از ساختارها، دیوایس ها و سیستم های مکانیکی در ابعاد میکرون و بکارگیری در حوزه های کاربردی شامل شتاب سنج ها، سنسورهای فشار، ژیروسکوپ، میکرواپتیک و ...گردیده و این امکان را برای تحول در زندگی انسان فراهم ساخته است. با توجه به اینکه استفاده از سنسورهای مختلف در خودرو عملکرد و کیفیت خودرو را افزایش می دهد، کاهش اندازه سنسورها همیشه بصورت یک چالش بوده که با پیشرفت تکنولوژی به این چالش رسیدگی شده و توسط سیستم های یکپارچه MEMS یا فناوری سیستم های میکروالکترو مکانیکی به ابداع حسگرهای ریزمقیاس با دقت بالاتر در اندازه کوچکتر و قیمت ارزان تر دست یافته.

Keywords:

حسگرهای اینرسی میکروالکترومکانیکی , میکروشتاب سنج , سیستم های میکروالکترومکانیکی , سنسور فشار , سنسور شتاب