فرشاد سلیمانی - دانشیار مرکز مواد پیشرفته و نانو فناوری و رئیس دانشکده فنی و مهندسی دانشگاه جامع امام حسین (ع)
سیدسلمان سیدافقهی - استادیار گروه مهندسی مواد و متالورژی دانشگاه ملایر
فرهود حیدری - دانشجوی دکتری و پژوهشگر مرکز مواد پیشرفته و نانو فناوری دانشگاه جامع امام حسین (ع)
امیرحسین کوچکی فروشانی - کارشناسی ارشد و پژوهشگر مرکز مواد پیشرفته و نانو فناوری دانشگاه جامع امام حسین (ع)

قطعات نیترید سیلیسیم دارای مجموعه خواص منحصر به فردی نظیر خواص مکانیکی بالا و پایداری ساختاری در دماهای بالا در عین حال با داشتن خواص الکترومغناطیسی مطلوب میباشند. به منظور تفجوشی سرامیکهای نیترید سیلیسیم با چگالی بالا استفاده از پودر نیترید سیلیسیم با درصد بالای فاز آلفا از اهمیت ویژهای برخوردار است. در این پژوهش روش نیتریداسیون مستقیم به عنوان روش تولید پودر نیترید سیلیسیم با درصد بالای فاز آلفا انتخاب شد. اثر رقیق کننده جهت تولید پودر نیترید سیلیسیم به میزان ۱۰ درصد وزنی در نظر گرفته شد. از دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی و پراش اشعه ایکس به ترتیب جهت بررسی ریزساختار و آنالیز فازهای تشکیل شده استفاده شد. پراش پرتو ایکس پودر بهینه سنتز شده بیانگر عدم حضور ناخالصیهایی همچون Si۲N۲O و حضور حدود ۸۰ درصد فاز آلفا و ۲۰ درصد فاز بتا است. میزان ۱۰% وزنی رقیق کننده برای تولید پودر نیترید سیلیسیم ضروری و اندازه پودر سیلیسیم بهینه، بین ۱ تا ۱۰ میکرومتر است.نتایج حاصل از محاسبات ریتولد و توزین همدیگر را تایید نموده و بیانگر تبدیل حدود %۶۰ وزنی از پودر سیلیسیم اولیه به نیترید سیلیسیم است. انجام عملیات اسیدشویی در محلول HNO۳+ HF موجب دستیابی به پودر نیترید سیلیسیم با خلوص بالا شد.

نیتریداسیون مستقیم، پودر سیلیسیم، فاز آلفا، رقیق کننده، پودر نیترید سیلیسیم