اثر دما بر ساختار پوشش TiN ایجاد شده به روش رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما (PACVD) بر روی فولاد ابزار
Publish place: The fourth joint conference of the Association of Metallurgical Engineers and the Iranian Foundry Association
Publish Year: 1389
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,382
This Paper With 11 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IMES04_337
تاریخ نمایه سازی: 22 مرداد 1391
Abstract:
روش PACVD بخاطر استفاده از محیط پلاسما دمای پوشش دهی کمتری نسبت به روش CVD معمولی دارد (550-450 درجه سانتیگراد). دمای پوشش دهی این روش معمولا کمتر از دمای تمپر اکثر فولادهای ابزار است، به همین دلیل روش مناسبی جهت ایجاد پوشش های نیتریدی از جمله TiN بر روی فولادهای ابزار می باشد. در یان تحقیق جهت ایجاد پوشش TiN بر روش فوق از مخلوط گازهای TiCl4, H2, N2 و Ar به عنوان پیش ماده استفاده شد و پوشش TiN در دماهای 450 و 480 و 520 درجه سانتیگراد بر روی فولاد ابزار تندبر DIN1.3355 رسوب گذاری شد. سپس آنالیز شیمیایی، ریز ساختار ، ساختار کریستالی و توپوگرافی پوشش ها بوسیله میکروسکوپ الکترونی روبشی، پراش اشعه ایکس و میکروسکوپ نیروی اتمی مورد بررسی قرار گرفتند. نتایح نشان دادند که TiN ایجاد شده دارای رشد جزیره ای ساختار گل کلمی بوده و با افزایش دمای لایه نشانی اندازه دانه های TiN و همچنین ضخامت لایه ایجاد شده افزایش می یابد.
Keywords:
Authors
حمید رضا شفیعی
گروه مهندسی مواد ،دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب
احمد علی آماده
دانشیار دانشکده مهندسی متالورژی و مواد، پردیس دانشکده های فنی، دانش
شاهرخ آهنگرانی
استادیار ، سازمان پژوهشهای علمی ایران
هادی مرادی
کارشناس ارشد مهندسی متالورژی و مواد، پژوهشکده علوم و فناوری مهام-گرو
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :