حمید رضا شفیعی - گروه مهندسی مواد ،دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب
احمد علی آماده - دانشیار دانشکده مهندسی متالورژی و مواد، پردیس دانشکده های فنی، دانش
شاهرخ آهنگرانی - استادیار ، سازمان پژوهشهای علمی ایران
هادی مرادی - کارشناس ارشد مهندسی متالورژی و مواد، پژوهشکده علوم و فناوری مهام-گرو

روش PACVD بخاطر استفاده از محیط پلاسما دمای پوشش دهی کمتری نسبت به روش CVD معمولی دارد (550-450 درجه سانتیگراد). دمای پوشش دهی این روش معمولا کمتر از دمای تمپر اکثر فولادهای ابزار است، به همین دلیل روش مناسبی جهت ایجاد پوشش های نیتریدی از جمله TiN بر روی فولادهای ابزار می باشد. در یان تحقیق جهت ایجاد پوشش TiN بر روش فوق از مخلوط گازهای TiCl4, H2, N2 و Ar به عنوان پیش ماده استفاده شد و پوشش TiN در دماهای 450 و 480 و 520 درجه سانتیگراد بر روی فولاد ابزار تندبر DIN1.3355 رسوب گذاری شد. سپس آنالیز شیمیایی، ریز ساختار ، ساختار کریستالی و توپوگرافی پوشش ها بوسیله میکروسکوپ الکترونی روبشی، پراش اشعه ایکس و میکروسکوپ نیروی اتمی مورد بررسی قرار گرفتند. نتایح نشان دادند که TiN ایجاد شده دارای رشد جزیره ای ساختار گل کلمی بوده و با افزایش دمای لایه نشانی اندازه دانه های TiN و همچنین ضخامت لایه ایجاد شده افزایش می یابد.

پوشش دهی پلاسمایی، PACVD ، پوشش نیترید تیتانیوم، فولاد ابزار تندبر DIN1.3355