آشنایی با لیتوگرافی و ارائه روشی کاربردی برای بهینه سازی آن
Publish place: The Physics Society Of Iran، Vol: 22، Issue: 1
Publish Year: 1401
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: Persian
View: 212
This Paper With 14 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_PSI-22-1_001
تاریخ نمایه سازی: 17 دی 1401
Abstract:
از آنجایی که برای انجام درست هرکاری ابتدا باید دانش و شناخت کافی از آن موضوع پیدا کنیم، ما در بخش نخست این مقاله ابتدا به مرور بر روش های مهم و اصلی لیتوگرافی نوری و طبقه بندی آنها می پردازیم. سپس به معرفی راه های بهبود تصاویر ایجاد شده روی فتورزیست که بستر اصلی لیتوگرافی است پرداخته و لیتوگرافی با ذرات پر انرژی و لیتوگرافی نرم را بررسی می کنیم. در بخش دوم مقاله روش فتولیتوگرافی تماسی و فرایند بهبود آن که در آزمایشگاه ما انجام شده است، با جزئیات معرفی و شرح داده می شود. از این روش برای لیتوگرافی جهت ساخت قطعات اپتیکی پراشی روی یک بستر شیشه ایی آلاییده شده به نانوذرات نقره توسط یک باریکه یون هلیوم استفاده کردیم. جهت کاهش اثر پراش، ما روش تماسی را برای کار خود سازگاز و بهینه سازی کردیم. راهکار ما که در این مقاله ارائه شده است برای سایر پژوهشگران در ایران عملی و در دسترس است
Authors
ارشمید نهال
آزمایشگاه پژوهشی مواد فوتونیکی، دانشکده فیزیک، پردیس علوم، دانشگاه تهران
سید رضا حسینی
آزمایشگاه پژوهشی مواد فوتونیکی، دانشکده فیزیک، پردیس علوم، دانشگاه تهران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :