ارشمید نهال - آزمایشگاه پژوهشی مواد فوتونیکی، دانشکده فیزیک، پردیس علوم، دانشگاه تهران
سید رضا حسینی - آزمایشگاه پژوهشی مواد فوتونیکی، دانشکده فیزیک، پردیس علوم، دانشگاه تهران

از آنجایی که برای انجام درست هرکاری ابتدا باید دانش و شناخت کافی از آن موضوع پیدا کنیم، ما در بخش نخست این مقاله ابتدا به مرور بر روش های مهم و اصلی لیتوگرافی نوری و طبقه بندی آنها می پردازیم. سپس به معرفی راه های بهبود تصاویر ایجاد شده روی فتورزیست که بستر اصلی لیتوگرافی است پرداخته و لیتوگرافی با ذرات پر انرژی و لیتوگرافی نرم را بررسی می کنیم. در بخش دوم مقاله روش فتولیتوگرافی تماسی و فرایند بهبود آن که در آزمایشگاه ما انجام شده است، با جزئیات معرفی و شرح داده می شود. از این روش برای لیتوگرافی جهت ساخت قطعات اپتیکی پراشی روی یک بستر شیشه ایی آلاییده شده به نانوذرات نقره توسط یک باریکه یون هلیوم استفاده کردیم. جهت کاهش اثر پراش، ما روش تماسی را برای کار خود سازگاز و بهینه سازی کردیم. راهکار ما که در این مقاله ارائه شده است برای سایر پژوهشگران در ایران عملی و در دسترس است

لیتوگرافی, مواد حساس به نور, فوتورزیست