طراحی باریکه های یک طرف ثابت برای خازن متغیر در سیستم های میکروالکترومکانیکی
Publish Year: 1391
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 664
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEEE04_317
تاریخ نمایه سازی: 6 مهر 1391
Abstract:
این مقاله طراحی باریکه یک طرف ثابت میکروالکترومکانیکی و مدل ولتاژ متوقف کنندگی را در پارامترهای باریکه از قبیل طول، عرض، ضخامت و فاصله هوایی (یا با دی الکتریک) توضیح می دهد و کاربرد باریکه یک طرف ثابت میکرو را به عنوان خازن متغیر شرح می دهد. خازن متغیر از چند باریکه یک طرف ثابت با طول های متفاوت که روی یک الکترود ثابت معلق هستند، تشکیل می شود. با اعمال ولتاژ بین الکترودها، نیروی الکتروستانیکی به باریکه ها یکی بعد از دیگری فشار وارد می کند که باعث افزایش دیجیتالی ظرفیت می شود.
Keywords:
Authors
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :