محمدعلی کوچک زاده - استاد، دانشگاه صنعتی شریف، تهران
مجید نصرالهی فکجور - دانشجوی دکتری، دانشگاه صنعتی شریف، تهران

در این پژوهش ، رفتار غیرخطی یک میکرو رزوناتور دو سر گیردار تحت بار الکترو استاتیکی بررسی شده است . در ابتدا، معادلات حاکم بر رفتار استاتیکی میکرو رزوناتور استخراج شد. سپس مدل مرتبه کاهش یافته آن به روش گلرکین بازنویسی شد. برای حل معادله ، از روش رانگ -کوتا استفاده شد. فرکانس ها و شکل مودهای غیرخطی میکرو رزوناتور با در نظر گرفتن نیروی محوری (کششی و فشاری ) و بدون آن، استخراج و با یکدیگر مقایسه شدند. با افزایش نیروی محوری ، فرکانس های میکرو رزوناتور بیشتر می شود. با داشتن نتایج قابل قبول از فرکانس ها و شکل مودها، بیشینه تغییر شکل استاتیکی بی بعد میکرو رزوناتور، محاسبه و به ازای مقادیر مختلف ولتاژ اعمالی ، رسم شد. به این ترتیب ، ولتاژ ناپایداری میکرو رزوناتور که یکی از قیود مهم در طراحی آنهاست ، محاسبه و گزارش شد. نتایج نشان می دهد که در نظر گرفتن نیروی محوری که خود می تواند در اثر پیش تنش های ناشی از فرآیند ساخت و همچنین شرایط محیطی و تکیه گاهی ایجاد شده باشد، یکی از مهم ترین متغیرهای طراحی است که باید مورد توجه طراحان قرار گیرد.

میکرو رزوناتور، تحلیل استاتیکی ، گلرکین ، کرنش غیرخطی ، ولتاژ ناپایداری