جدایش الکترو شیمیایی و شیمیایی ممبران آلومینای آندی از زیر لایه آلومینیومی

آلومینای آندی حاصل از فرآیند آندایزینگ آلومینیوم، به روش الکتروشیمیایی از زیرلایه آلومینیومی جدا گردید. به منظور حذف لایه مانع و باز شدن انتهای حفرات، نمونه ها در محلول اسیدفسفریک % 5 قرار گرفتند. تاثیر زمانفرآیند بر قطر حفرات باز شده، بررسی گردید. با افزایش زمان از 30 به 40 دقیقه، متوسط قطر حفرات انتهای تمپلیت از 44 به 66 نانومتر افزایش یافت. به منظور مقایسه، فرآیندشیمیایی نیز جهت جدایش آلومینا اززیرلایه آلومینیومی با استفاده از محلول نمکی فلزات سنگین انجام شد و به دنبال آن اچ شیمیایی در محلول اسید فسفریک % 5 وزنی به منظور حذف لایه مانع و بازکردن انتهای حفرات صورت گرفت. متوسط قطر حفرات انتهایی تمپلیت در این حالت 74 نانومتر بوده که در مقایسه با حالت قبل، افزایش قطر حفرات انتهایی قالب مشاهده شده است.