تغییر فرکانس رزوناتور میکرو الکترو مکانیکی دو سر ثابت بر اثر شارش گرما از زیر لایه
Publish place: 1st Iranian Conference on Heat and Mass Transfer
Publish Year: 1391
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 2,126
This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICHMT01_084
تاریخ نمایه سازی: 3 آذر 1391
Abstract:
در رزناتورهای میکروالکترومکانیکی احتمال تغییرفرکانس رزنانس باتغییر شرایط محیطی مشکلات بسیاری را در سیستمهای گیرنده وفرستنده ایجاد می کند . در مقاله حاضریک قطعه رزناتور ممز MEMS)مورد بررسی و مطالعه قرارگرفته است دراین کار تغییرات فرکانس درنتیجه شارش گرما به پایه های رزوناتور به علت اختلاف دما با مدارهای الکترونیکی مجاور که باعث ایجاد تنش دررزوناتور محاسبه می شود محاسبه شده است جهت پایدار بودن عملکرد رزوناتور درگستره وسیعی ازتغییرات دمایی مطلوب است که ضریب دمایی فرکانس صفر باشد ضریب دمایی بدست آمده برای رزوناتور جبران سازی نشده به کمک شبیه سازی -158 ppm °c محاسبه گردید که بیانگر قابلیت کاربرد آن به عنوان سنسوردمامی باشد عدد بدست آمده باتوجه به وابسته بودن ضریب دمایی فرکانس به ساختار مورد استفاده برای قطعه مشخصات مواد بکاررفته و تغییرات تنش با تغییرات دما محاسبه شده است.
Keywords:
Authors
سعید اسدی
گروه برق و الکترونیک،دانشگاه سیستان و بلوچستان
طاهره فنایی شیخ الاسلامی
گروه برق و الکترونیک،دانشگاه سیستان و بلوچستان
جواد احمدی شکوه
گروه برق و الکترونیک،دانشگاه سیستان و بلوچستان
محمود حمید پور
گروه برق و الکترونیک،دانشگاه سیستان و بلوچستان
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :