مهدی مرادی - دانشگاه صنعتی مالک اشتر
سعید گودرزی - دانشگاه آزاد قزوین
سجاد قاسملو - دانشگاه صنعتی مالک اشتر

این مقاله مدل و ساختارکاملی ازیک خازن متغیر میکروالکترومکانیک را ارایه میدهد که ازلحاظ تئوری قادر به بدست آوردن محدوده تنظیم نامحدودی است که برای نخستین بار مسائل مربوط به تنش و تنش پسماند بطور همزمان حل شده اند دوخازن طوری ساخته می شوند که ولتاژ تحریک آنها 4.5 و 5 ولت که مطابق با محدوده تنظیم 3:1و3.42:1 است بدست آید برای آنکه خازنهای متغیر مورد نظر در مقایسه با خازنهای متغیر دیگر که با روند یکسان تولید شده اند عملکرد بهتر و محدوده تنظیم بیشتری را داشته باشند شبیه سازی و اندازه گیری ها اصلاح میگردند درادامه مدلی از المان محدود که براساس تطبیق ساختاری الکترواستاتیکی است ارایه می گردد.

تنش پسماند، خازن متغیر، میکروالکترومکانیک، ولتاژ تحریک