سعید گودرزی - دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات قزوین
توحید زرگرارشادی
علیرضا دهقانی

دراین مقاله یک ساختارجدیدبرای سوییچهای فرکانس رادیویی میکروالکترومکانیک جهت کاهش ولتاژ تحریک معرفی شده است از آنجا که اصلی ترین مشکل درسوییچهای RF MEMS ولتاژ تحیرک بالا است نشان خواهیم داد که با طراحی سوییچ ثابت - ثابت یا پل معلق خازنی با غشا خم مارپیچی به کاهش ثابت فنری و درنتیجه ولتاژ تحریک کمتری دست خواهیم یافت درادامه از غشا طلا نسبت به مس استفاده کرده و مجددا به ولتاژ تحریک کاهش یافته حدود 13% دست یافتیم که این نتایج با مقالات معتبر مورد مقایسه قرارگرفته و همچنین پیشنهادات فوق با نرم افزارالمان محدود Intellisutie (FEA شبیه سازی شده است.

ساختارخم مارپیچی، سوییچهای فرکانس رادیویی میکروالکترومکانیک، غشا،ولتاژ تحریک