حمید سلمانی نهوجی - دانشگاه تهران
محسن حامدی
محمد صالحی
حامد مجیدی فردوطن

سیستم های میکروالکترومکانیکی یا ممز ترکیبی از اجزای مکانیکی سنسورها عملگرها و قطعات الکترونیکی برروی یک لایه سیلیکون به کمک فناوری ساخت تراشه های میکرونی می باشد ازجمله ادوات ممز میتوان به میکروگریپرها میکروموقعیت دهندها میکروکلمپ ها میکروسنسورها و ... اشاره نمود که میکروگریپرها درجابجایی و موقعیت دهی قطعات با مقیاس کوچک کاربرد بسیاری دارند میکروگریپر برای گیره بندی نیاز به تحریک دارد عملگرهای الکتروترمال با توجه به نحوه عملکرد و سادگیدراستفاده دارای کاربرد زیادی نسبت به عملگرهای الکترواستاتیک پیزوالکتریک آلیاژ حافظه دار و ... دارند عملگرهای برقی ـ حرارتی که با ساتفاده از میکروماشین کاری سطحی ساخته می شوند از خاصیت انبساط طولی برای حرکت سازه استفاده می کنند انبساط طولی ناشی از پدیده گرمایش ژول است که به دلیل عبورجریان از بازوهای عملگر ایجاد می شود.

عملگرمیکروالکتروترمال، پیزوسنسور