CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

اندازه گیری دما و بررسی گذار مد E به H در پلاسمای ICP تحت خلا

عنوان مقاله: اندازه گیری دما و بررسی گذار مد E به H در پلاسمای ICP تحت خلا
شناسه ملی مقاله: JR_JONSAT-45-1_017
منتشر شده در در سال 1403
مشخصات نویسندگان مقاله:

سید منصور طباطبائی - پژوهشکده پلاسما و گداخت هسته ای، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، ۵۱۱۱۳- ۱۴۳۹۹، تهران، ایران
جمال الدین یزدان پناه - پژوهشکده پلاسما و گداخت هسته ای، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، ۵۱۱۱۳- ۱۴۳۹۹، تهران، ایران
علیرضا حفظ الصحه - پژوهشکده پلاسما و گداخت هسته ای، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، ۵۱۱۱۳- ۱۴۳۹۹، تهران، ایران

خلاصه مقاله:
در این مقاله ابتدا به شرح اجمالی دستگاه ساخته شده مولد پلاسمای القایی ICP-۱۳.۵۶ (فرکانس کاری ۱۳.۵۶ MHz) که شامل دو مشعل تحت خلاء و فشار اتمسفری می باشد، می پردازیم. سپس با تمرکز بر عملکرد مشعل تحت فشار خلا، مشخصه یابی دمایی پلاسما و وقوع پدیده گذار از مد E به H در اثر تغییر پارامترهای آزمایش شامل فشار اولیه و توان اعمالی بر روی پلاسما مورد بحث قرار می گیرند. بر اساس اندازه گیری های طیف سنجی انجام شده برای گاز آرگون در فشارmbar  ۴ و به ازای توان ورودی RF W۴۰۰ دمای تحریک الکترونی پلاسما به روش ترسیم بولتزمن حدود ۱۱۶۳۶ درجه کلوین به دست آمد. همچنین، با استفاده از معادلات حاکم بر میدان های الکترومغناطیس در پلاسمای ICP، تصحیحات امپدانس سیستم در اثر استتار پلاسما و همچنین رابطه توان جذب شده با چگالی پلاسما و فشار زمینه به دست آمده است. بر اساس این روابط، رفتار منحنی های بار مورد تحلیل قرار گرفت و بروز پدیده گذار از مد E به H در این منحنی ها استنتاج گردید

کلمات کلیدی:
مشعل ICP, گذار مد E به H, دمای پلاسما

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/1768585/