فرزاد سلیمانی - استادیار، عضو هیئت علمی دانشگاه پیام نور، تهران
رامین ملاحمزه زاده - دانشجوی کارشناسی ارشد ، دانشگاه پیام نور، تهران

در لایه نشانی تانتالیوم به روش اسپاترینگ مگنتی پارامترهای مختلفی همچون توان اعمالی، فشار کاری و دمای زیرلایه تاثیر به سزایی در ساختار، خلوص و فاز پوشش دارند. در این تحقیق تاثیر دمای حین فرایند در ایجاد فاز مناسب پوشش های تانتالیوم بررسی شد. پوشش تانتالیوم نایتراید نیز بر روی فولاد اعمال شد و بر روی این میان لایه دوباره پوشش تانتالیوم ایجاد شد و مشاهده گردید که در ایجاد فاز مناسب پوشش های تانتالیوم وجود میان لایه تاثیر دارد. تانتالیوم دارای دو فاز آلفا (ساختار بلوری BCC) و بتا (ساختار هگزاگونال) می باشد. اولویت در این تحقیق، یافتن شرایط بهینه برای رشد فاز آلفا بود. تمیزکاری نهایی زیرلایه با روش اسپاتر اچ در یکنواختی پوشش وایجاد فاز مناسب موثر است.یکنواختی مورفولوژی پوشش تانتالیوم و تانتالیوم نایتراید توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی مشاهده گردید. همچنین نشان داده شد که سختی لایه در مقایسه با زیرلایه فولادی افزایش قابل توجهی داشت.

تانتالیوم، اسپاترینگ، طیف سنجی تابش اپتیکی تخلیه ی نورانی ، تانتالیوم نایتراید