CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

استفاده از روش جذب تشدیدی برای اندازه گیری چگالی اتم های مس در لایه نشانی به روش کندوپاش پلاسمایی

عنوان مقاله: استفاده از روش جذب تشدیدی برای اندازه گیری چگالی اتم های مس در لایه نشانی به روش کندوپاش پلاسمایی
شناسه ملی مقاله: JR_PSI-11-1_007
منتشر شده در در سال 1390
مشخصات نویسندگان مقاله:

حمید نقش آرا - دانشگاه تبریز
صمد سبحانیان - دانشگاه تبریز
نادر صادقی - دانشگاه گرونوبل فرانسه

خلاصه مقاله:
در این مقاله چگالی اتم های مس که به عنوان هدف انتخاب شده است با روش طیف نگاری جذبی تشدیدی برای فشارهای مختلف گاز کاری و توان های مختلف منبع تغذیه سیستم پلاسما اندازه گیری شده است. به عنوان منبع نور برای طیف نگاری جذبی تشدیدی از یک لامپ کاتد توخالی مس (Cu hollow cathode lamp) استفاده شده است. ضمنا با اضافه کردن درصد مناسبی از نیتروژن به گاز کاری آرگون با استفاده از طیف دورانی مولکول نیتروژن و با بهره گیری از یک برنامه کامپیوتری مناسب دمای گاز به دست آمده است.

کلمات کلیدی:
اسپکتروسکوپی جذبی تشدیدی, کند و پاش پلاسمایی

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/1802361/