حامد عباسیان
محمد الماسی کاشی
عبدالعلی رمضانی
علی خیاطیان

در کار حاضر، قالب اکسید آلومینیوم آنده شده به وسیله روش آنده نرم شتاب دار و در اسید فسفریک ۶/۰ مولار و با ولتاژ آنده ۱۷۵ ولت ساخته شد. قطر حفره ها توسط سونش شیمیایی نمونه ها در اسید فسفریک ۵/۰ مولار و در مدت زمان های مختلف ۸، ۱۶، ۳۲ و ۴۰ دقیقه افزایش داده شد. بررسی تصاویر میکروسکوپ الکترونی نشان داد که قطر حفره ها با زمان سونش به صورت نمایی افزایش می یابد. با لایه نشانی الکترودهای نقره روی نمونه ها و سپس با استفاده از یک مدار RC برای طیف سنجی امپدانسی، مشخصات حسگری نمونه های ساخته شده نسبت به رطوبت مورد بررسی قرار گرفت. اندازه گیری ها نشان داد که بیشترین میزان پاسخ حسگری نسبت به رطوبت مربوط به حسگر شاخته شده توسط نمونه با ۴۰ دقیقه سونش می باشد. برای این حسگر آستانه رطوبت نسبی قابل آشکار سازی ۳۰ درصد و زمان پاسخ و بازیافت به ترتیب ۸ و ۲ ثانیه بود.

آنده, آلومینای نانوحفره دار, حسگر رطوبت, سونش شیمیایی, طیف سنجی امپدانسی