در این پژوهش لایه های نازک اکسید روی آلائیده با آلومینیوم به غلظت های ۰، ۳، ۶ و ۱۲ درصد مولی آلومینیوم به روش سل ژل بر روی زیرلایه شیشه ساخته شد. لایه های آماده شده در دماهای °C۵۰۰-۳۰۰ به مدت یک ساعت در هوا پخت شدند. پراش پرتو ایکس (XRD) ساختار بلوری ورتسایت هگزاگونال برای لایه های بازپخت شده در دمای بالاتر از °C ۴۰۰ نشان داد. سپس لایه ها تحت تابش پرتو لیزر (nm ۲۴۸ = λ، KrF) قرار گرفتند. تحول ساختار بلوری و مورفولوژی سطح با استفاده از XRD، میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدان (FE-SEM) انجام شد. اندازه گیری زمان پاسخ جریان الکتریکی در طول تابش پرتو لیزر مقاومت پایا و گذرا وابسته به نوع نمونه را نشان می دهد. اثر انرژی لیزر بر رسانندگی فوتونی نیز بررسی شد و با استفاده از طیف فوتولومینسانس (PL) و طیف سنجی فوتوالکترون پرتو ایکس (XPS) اثر رسانندگی فوتونی ناشی از پرتو لیزر مورد بررسی قرار گرفت.

ZnO آلائیده با Al, سل ژل, تابش لیزر اگزایمر, رسانندگی فوتونی, XRD, FE-SEM