در این تحقیق تاثیر دمای زیر لایه در محدودهC˚۴۵۰-۱۰۰ برخواص ساختاری لایه های نیترید زیرکونیوم که به روش کندوپاش شعاع یونی روی زیر لایه شیشه وسیلیکون تهیه شده است، مورد بررسی قرار گرفته است. تعین ضخامت لایه ها با استفاده از آنالیز RBS (طیف پس پراکندگی رادرفورد)   و تعیین فازهای کریستالی با توجه به آنالیز XRD (پراش پرتو X) انجام شده است. نتایج XRD  نشان داد که با افزایش دما تا C˚۴۰۰ بر میزان بلوری شدن فاز نیترات زیرکونیوم افزوده شده ولی در دمای بالاتر، کاهش یافته است. در تمامی دماها جهت [۱۱۱] فاز نیترات زیرکونیوم جهت ترجیحی است. نتایج RBS  نشان داد که ضخامت لایهZrN در دماهای بالاتر نسبت به دمایC ˚۱۰۰ افزایش یافته که می تواند به دلیل افزایش تشکیل    مونومر های Zr-N  برای تشکیل لایه وافزایش اندازه دانه باشد و نیز کاهش ضخامت در دمای ˚C ۴۵۰ به افزایش چگالی لایه وکاهش اندازه دانه مربوط است.

نیترید زیرکونیوم, باریکه پرتو یونی, XRD و RBS