مروری بر کاربردهای مواد مگنتواستریکتیو در سیستم هایMEMS

مگنتواستریکشن تغییر شکل ظاهری در موادی است که تحت میدان مغناطیسی خارجی قرار می گیرند. تغییرات مگنتواستریکشن ناشی از تغییر جهت حوزه های کوچک مغناطیسی است. این تغییرات نتیجه کرنش های داخلی در ساختار ماده است. در این مقاله موادمگنتواستریکتیو و روابط حاکم بر انها و نیز اثر های مگنتواستریکشن ارائه می شوندو همچنین نمونه هایی از کاربرد مواد مگنتواستریکتیو از قبیل عملگر جرمی واکنشی، عملگر استانداردTerfenol-Dموتور خطی بر پایهTerfenol-D موتور حلزونی(، موتور بی سیمTerfenol-Dعملگر هیدرولیکیTerfenol-میکروموتور خطی وایرلس، کاربردهای فیلم مگنتواستریکتیو، حس گر پیچشی بدون تماس مگنتواستریکتیو و برخی دیگر از کاربردها آمده است.این مطالعه ویؤگی های منحصر به فردی که بوسیله مواد مگنتواستریکتیو بدست آمده است را بررسی می کند

Keywords:

حس گر , عملگر , مگنتواستریکتیوMEMS , Terfenol-D