سیدمحمد علوی - دانشیار دانشگاه جامع امام حسین علیه السلام
جلایر فرزام - دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه جامع امام حسین علیه السلام

رسوب گذاری لایه نازک به روش های مختلف انجام می گیرد که هر کدام از آنها کاربردهای مختلفی در صنعت دارد. در این مقاله به بررسی روشهای رسوب لایه اتمی ( ( ALD پرداخته شده است. همچنین ابزارهای مدلسازی و کاربردهای آنها را شرح میدهد. در ادامه ی این مطالعه، به بررس انواع و همچنین ویژگی ها، مزایا و کاربردهای روش رسوب لایه اتمی می پردازد.

رسوب اتمی (ALD)، PEALD، TERMAL - ALD