تاثیر مس بر ویژگیهای ساختاری و سختی لایه نازک نانوکامپوزیتی TiN/Cu انباشت شده به روش پوشش دهی یونی
Publish place: 1st National Conference on Physics and its Applications
Publish Year: 1391
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 824
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCPHYAPP01_057
تاریخ نمایه سازی: 17 اردیبهشت 1392
Abstract:
لایه نازک نیترید تیتانیوم-مس با روش رسوبگذاری فیزیکی بخار توسط دستگاه لایه نشانی یونی مجهز به تفنگ تخلیه الکتریکی کاتد توخالی در دمای زیرلایه 350 درجه سانتیگراد بر روی زیرلایه استیل 316 لایه نشانی شد. جهت مشخصه یابی نمونه- ها آنالیز تفرق اشعه ایکس (DRX) میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)، طیف سنجی تفرق انرژی اشعه ایکس (EDX)، طیف پس پراکندگی رادرفورد (RBS) و اندازه گیری نانوسختی و ضریب الاستیسته (مدول یانگ) به روش دندانه گذاری نانویی مورد استفاده قرار گرفت. نتایج نشان می دهند با افزودن مس به لایه TiN پیک TiN(200) و TiN(111) مشاهده شد اما پیک مس ظاهر نگردید. با افزایش میزان مس در محلول جامد نیتریدتیتانیوم– مس، سختی لایه های TiN از Gpa 31 با افزودن مس به آن به Gpa 11 برای at.% 0 مس و به Gpa 4 برای at.% 7 مس کاهش مییابد.
Authors
پروین بلاش آبادی
دانشکده علوم، دانشگاه پیام نورتهران، تهران
مجید مجتهدزاده لاریجانی
پژوهشگاه علوم و فنون هستهای، پژوهشکده تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی
علی اصغر شکری
دانشکده علوم، دانشگاه پیام نورتهران، تهران
الهام جعفری خمسه
دانشکده فیزیک، دانشگاه کاشان، کاشان
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :